红外光学薄膜材料光学常量计算和在宽带增透膜中的应用.pdfVIP

第 37 卷第 3 期 光 　子 　学 　报 Vol . 37 No . 3 2008 年 3 月 　　　　　　　　　　　　 March 2008 A C TA P HO TON ICA SIN ICA 红外光学薄膜材料光学常量计算和在 宽带增透膜中的应用 苏伟涛 ,李斌 ,刘定权 ,李大琪 ,张凤山 ( 中国科学院上海技术物理研究所 ,上海 200083) 摘 　要 :使用经典洛伦兹谐振子模型对热蒸发制备的锗 、硫化锌以及低吸收稀土氟化物薄膜的红外 透射光谱进行拟合 ,得出这些材料在中长波红外区的光学常量. 使用这三种材料设计并制备了锗窗 μ 口7 . 7～15 m 宽带增透膜系 ,通过优化设计并且使用长波红外区吸收小的低折射率材料 ,在长波 ( μ ) μ 区 13～15 m 的透过率测量值有明显提高 ,15 m 处的透过率为 89 . 9 %. 关键词 :光学薄膜 ;光学常量 ;洛伦兹谐振子模型 ;红外增透膜 中图分类号 : TB443 　　　　文献标识码 :A 　　　　文章编号 :100442 13 (2008) 0304904 μ 0 　引言 15 m 宽带增透膜系在长波区的透过率. 在现代的红外光机系统中 ,许多长波红外光学 1 　试验 薄膜器件的工作波长都在材料的共振吸收带附近的 本试验的薄膜沉积工作在上海曙光厂生产的 高频透明区. 在这个波长范围内, 由于晶格振动吸收 KD500 箱式镀膜机上完成. 常规的镀膜机温控系统 的影响 ,几乎所有的红外镀膜材料都存在晶格共振 中 ,测温热电偶的安装位置与衬底有相当的距离 ,导 吸收 , 而且波长越靠近共振吸收带 , 吸收系数越 致测量结果与衬底的实际温度有相当大的差别. 为 大[ 1 ] . 使用吸收较低的材料 ,可以明显提高长波红外 了精确的测量并控制衬底的温度 ,在改进的测温装 光学薄膜器件的性能 ,特别是红外窗口宽带增透膜 置中 ,把铂电阻压在衬底的背后 ,温度信号经导流环 系在长波区的透过率. 因此 ,测量并得到红外镀膜材 从旋转的工件架上导出. 这种改进的系统可以对衬 料在长波红外区的光学常量 ,对长波红外光学薄膜 底温度进行直接测量 ,和常规镀膜机相比,温度的测 器件的设计和生产有重要的意义. 量结果更加接近衬底的实际温度 ,对衬底温度的控 宽光谱范围内的光学常量测量方法主要有椭偏 制精度有较大提高. 光谱法[24 ] 和透射光谱拟合法[ 68 ] 等. 在中长波红外 在试验过程 中 , 真空室的本底真空小于 3 × 区 ,透射光谱拟合法使用通用的红外光谱仪和商用 10 - 3 Pa ,硫化锌 ,锗和稀土氟化物等三种薄膜的沉 计算软件就可以进行计算 ,和椭偏光度法相比简单 积温度都为 200 ℃,沉积速率约为 1～2 nm/ sec . 在 易行. 光学常量的计算过程中必须选择正确的色散 制备硫化锌薄膜时使用锗作为衬底 ,沉积锗薄膜时 模型. 通 常 使 用 的 色 散 模 型 , 如 柯 西 模 型 和 使用硅作为衬底 ,沉积稀土氟化物时则使用硒化锌 [ 5 ] Sellmeier