用万能工具显微镜测量的原则及原理分析.pdfVIP

测试测量技术与设备 电 子 工 业 专 用 设 苗 - 用万能工具显微镜测量的原则及 原理分析 李 雪，宋秀敏 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601) 摘 要：分析了利用万能工具显微镜测量工件时为了提高测量精度采用的原则。并做了一定的 原理性分析。 关键词：万能工具显微镜；调焦；可变光阑 中图分类号：TH742 文献标识码：B 文章编号：1004．4507(2012)02．0048．03 _l。ne measurement 13rinci13les USIng umversal tool maKer S，■’● · ■ ● - ● ■ - · ’ ■ ， microscope and the analysis 0f the theory LI Xue，SONG Xiumin (The 45th Research Institute of CETC，Beijing 1 0 1 60 1，China) Abstract：In this article the principles using universal tool maker’S microscope to improve measurement accuracy are analyzed，and some theories of the measurement principles are anylyzed． Keywords：Universal tool makers microscope；Focusing；Iris,diaphragm 万能工具显微镜(以下简称万工显)是机械制 这种仪器配有多种附件，具有精度高、操作方便、 造行业常用的一种大型和复杂的光学测量仪器。 适用性广等特点。 它主要以影相法和轴切法为瞄准方法，按照直角 尽管万工显具有很多优点，但如果测量工件 坐标或极坐标来精确地测量零件的长度、角度。影 时操作不当，就会引入一系列系统误差，从而降 像法是直接依靠显微镜将影像放大来瞄准读数， 低测量的精度。下面根据万工显光学系统的特 轴切法是为了在轮廓对准上克服因衍射现象带来 性，论述一下在操作过程中如何提高测量精度及 的测量误差，利用所配附件测量刀上的刻线代替 其原理。 被测表面轮廓来完成瞄准。万工显可以测量如扁 平、圆柱、锥体、螺纹等各种形状零件的参数，包括 1调焦原则 刀具的轮廓角、样板和模具的几何形状、凸轮的坐 标尺寸、圆弧半径、孔径和孔间距等都可以测量。 在万工显上进行测量时，为了保证测量的 收稿日期：2011-12-20 - 电 子 工 业 专 用 设蚤 测试测量技术与设备 正确性，必须要求物像和米字线分划线的像在同 的每一点射出的光束经过透镜后各自成一束平 一 聚焦面上，这就必须按照正确的调焦原则进行 行光，这些平行光束间有一定的夹角，光阑大时， 操作。 由光阑边缘点射出的光线与中心点射出的光线 把被测工件放在工作台上用顶针顶紧后，首 通过透镜后的夹角也会更大，反之亦然。从图1 先从目镜视野内仔细观察米字刻线是否清晰，如 中可看出，当测同一圆柱直径时，光阑的大小对 果不够清晰，应调节目镜筒上的滚花圈，使视度 测量数值的大小影响很大。当光阑大时，由光阑 和测量者视力相适应，在视野内得到清晰的米字 下边缘C点射出的光线C 与显微镜物镜轴线之 线像，然后移动显微镜悬臂或焦距微调环，使视