第一章-电镜结构详解.pptVIP

* * 电子枪 * 聚光镜 * 2）成象放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 （1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。 （2）物镜：电镜的最关键的部分，其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样；将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上，构成与试样组织相对应的显微象。投射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。因为物镜得任何缺陷都将被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强励磁、短焦距的物镜，像差小。 * 物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。 为了减小物镜的球差和提高象的衬度，在物镜极靴进口表面和物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑（防止物镜污染）和衬度光阑（提高衬度） 在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。 * （3）中间镜 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一副放大像，这就是电子显微镜中的成像操作。 如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一副电子衍射花样。这就是电子显微镜中的电子衍射操作。 * * （4）投影镜 近代高性能电镜一般都设有两 个中间镜，两个投影镜。三级放大 成象和极低放大成象示意图如下所示 * * 图1-12 （a）高放大率 （b）衍射 （c）低放大率 物 物镜 衍射谱 一次象 中间镜 二次象 投影镜 三次象 （荧光屏） 选区光阑 * 物镜关闭 无光阑 中间镜 （作物镜用） 投影镜 第一实象 （荧光屏） 普查象 图1-13 极低放大率象 3）显象部分 这部分由观察室和照相机构组成。 在分析电镜中，还有探测器和电子能量分析附件。 如下图所示。 * * * 扫描发生仪 显象管 和X-Y 记录仪 数据 处理 放大器 电子束 扫描线圈 入射光阑 电子能量 分析仪 能量选择光阑 探测器 图1-14 扫描电子衍射和电子能谱分析附件示意图 2 . 真空系统 为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用，而 不与空气分子发生碰撞，因此，整个电子通道从电子 枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内，一般真空 度为 毫米汞柱。 * 3 . 供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分， 二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。 所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和 各透镜的激磁电流。 近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作 程序控制系统和数据处理的计算机系统。 * * 第二节 主要部件的结构与工作原理 一、样品平移与倾斜装置（样品台） * * * 二、电子束倾斜与平移装置 偏转θ+β角，则电子束相对于原来的方向倾斜了β角，而入射点的位置不变，见b图。利用电子束原位倾斜可以进行所谓的中心暗场成像操作。 * * s θ θ 上偏转线圈 下偏转线圈 θ+β θ β 电子束平移和倾斜的原理图 四、光阑 在透射电子显微镜中有三种主要的光阑，它们是聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑。 （一）聚光镜光阑 聚光镜光阑的作用主要是限制照明孔径角。在双聚光镜系统中，光阑常装在第二聚光镜的下方，光阑孔的直径为20～400μm，作一般分析观察时，聚光镜的光阑孔直径可用200~300 μm；若作微束分析时，则应采用小孔径光阑。 * （二）物镜光阑 物镜光阑也称为衬度光阑，它通常被安放在物镜的后焦面上。常用物镜光阑的孔的直径是20～120μm范围。电子束通过薄膜样品后会产生散射和衍射。散射角（或衍射角）大的电子被光阑挡住。 * * * （三）选区光阑 三、透射电镜分辨率和放大倍数的测定 点分辨率的测定：将铂、铂－铱或铂－钯等金属或合金，用真空蒸发的方法可以得到粒度为0.5~1nm、间距为0.2~1nm的粒子，将其均匀地分布在火棉胶或碳支持膜上，在高放大倍数下拍摄这些粒子的像。为了保证测定的可靠性，至少在同样的条件下拍摄两张底片，然后经光学放大（5倍左右），从照片上找出粒子间最小间距，除以总放大倍数，即为相应电子显微镜的点分辨率。 * 晶格分辨率的测定： 利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜作为标样，拍摄其晶格像。这种方法的优点是不需要知道仪器的放大倍数，因为