第07章_光电式传感器.pptVIP

莫尔条纹光学放大作用举例题 有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?，则： 分辨力? =栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m （由于栅距很小，因此无法观察光强的变化） 莫尔条纹的宽度约是栅距的32倍： B ≈W/θ = 0.02mm/（1.8? *3.14/180? ） = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。 第八章 光电式传感器 三、光栅传感器测量位移的原理 1、组成：光源、主光栅、指示光栅和光电器件 a b c d e f g x U U0 Um 2、工作原理： 第八章 光电式传感器 通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。 其电压为： 光电元件输出电压与光栅的位移量x成正弦函数关系 式中：U0为输出信号的直流分量； Um为输出信号幅值；W为栅距。 由上式可知，利用光栅可以测量位移量x的值。当位移量变化一个栅距W 时，其输出U变化一个周期，若对输出正弦信号整形成变化一个周期输出一个脉冲，则脉冲数与移过的栅距数是一一对应的 第八章 光电式传感器 3、细分技术 目的：精密测量中，为测量比一般栅距更小的位移量。 思路1：使光栅具有很高的刻线密度。 困难：技术工艺上难以实现 思路2：细分技术 在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲（一般是4个），以提高分辨率。 措施：机械细分和电子细分 第八章 光电式传感器 四、产品 位移 第八章 光电式传感器 量程：70mm～2170mm 精度：0.0005mm 量程：50mm～2200mm 精度：0.0001mm 第八章 光电式传感器 检测小物体 角位移 第八章 光电式传感器 第八章 光电式传感器 五、应用介绍 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 第八章 光电式传感器 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 第八章 光电式传感器 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 除真空光电管外，还有一种充气光电管，他的结构和真空光电管基本相同，所不同的仅仅是在玻璃泡内充以少量的惰性气体，如氩或氖。当光电极被光照射而发射电子时，光电子在趋向阳极途中将撞击惰性气体的原子，使其电离，从而使阳极电流急速增加，提高了光电管的灵敏度。 * 从半导体的原理可知,当在金属电极上施加一正电压时，在电场的作用下，电极下面的P型硅区里的空穴将被赶尽，从而在表面附近形成一个带负电荷的耗尽区。也就是说，对带负电的电子而言，这个耗尽区是一个势能很低的区域，成为电子的势阱，简称为“势阱”，这是蓄积电荷的场所。表面势阱的深度，近似地与极板上所加的电压成正比。 * (1) 根据光纤在传感器中的作用 光纤传感器分为功能型、非功能型和拾光型三大类。 1）功能型（全光纤型）光纤传感器 利用对外界信息具有敏感能力和检测能力的光纤(或特殊光纤)作传感元件，将“传”和“感”合为一体的传感器。光纤不仅起传光作用，而且还利用光纤在外界因素(弯曲、相变)的作用下，其光学特性(光强、相位、偏振态等)的变化来实现“传”和“感”的功能。因此，传感器中光纤是连续的。由于光纤连续，增加其长度，可提高灵敏度。 信号处理 光受信器 光纤敏感元件 光发送器 第八章 光电式传感器 第八章 光电式传感器 2）非功能型（或称传光型）光纤传感器 光纤仅起导光作用，只“传”不“感”，对外界信息的“感觉”功能依靠其他物理性质的功能元件完成。光纤不连续。此类光纤传感器无需特殊光纤及其他特殊技术，比较容易实现，成本低。但灵敏度也较低，用于对灵敏度要求不太高的场合。 信号处理 光受信器 敏感元件 光发送器 光纤 3）拾光型光纤传感器 用光纤作为探头，接收由被测对象辐射的光或被其反射、散射的光。其典型例子如光纤激光多普勒速度计、辐射式光纤温度传感器等。 信号 处理 光受 信器 光发送器 光纤 耦合器 被测对象 光纤传感器的基本结构 测量对象 测量对象 测量对象 测量对象 功能型 传光型 传光型 传光（拾光）型 第八章 光电式传感器 （2）根据光受被测对象的调制形式 形式：强度调制型、偏振调制、频率调制、相位调制。 1）强度调制型光纤传感器 是一种利用被测对象的变化引起敏感元件的折射率、吸收或反射等参数的变化，而导致光强度变化来