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图5-19 光栅测量系统 分光读数头原理图 玻璃透射光栅示意图 反射射读数头工作原理图 在光栅测系统中，通常把光源、指示光栅和光电元件组合在一起，称为读数头。读数头的结构形式很多，但就其光路来看可以分为分光读数头、垂直入射读数头和反射读数头。 1、分光读数头 光源Q发出的光，经过透镜L1变成平行光，照射到标尺光栅G1和指示光栅G2上，由透镜L2把在指示光栅G2上形成的莫尔条纹聚焦，由安装在焦面上光电元件P来接收莫尔条纹的明暗变化。这种光学系统是莫尔条纹光学系统的基本型。这种分读数头，刻线截面为锯齿形，其倾角Q是根据光栅材料的折射率与入射光的波长确定。 2、垂直入射读数头 从光源Q经透镜L使光束垂直照射到标尺光栅G1，然后通过指示光栅G2由光电元件P接收。两块光栅的距离t是根据有效光波的波长λ和栅距ω来选择，即t=ω2/λ。这种读数头主要应用于每毫米25~125线的玻璃透射光栅系统。 3、反射读数头 经透镜L1将光源Q变成平行光，并以对光栅法面为β的入射角（一般为30°）投影到指示光栅G1的反射面上。反射回来的光束先通过指示光栅G2形成莫尔条纹，然后经透镜L2由光电元件P接收信号。这种读数头主要用于每毫米25~50线以下的反射系统。 三 光栅测量系统 磁性标尺装置是将具有一定节距的磁化信号用记录磁头记录在标尺上的磁膜上，用它作为测量基准。磁栅安装调整方便，对使用环境的条件要求较低，地周围电磁场的抗干扰能力较强，在油污、粉尘较多的场合下使用有较好的稳定性。 磁栅测量装置由磁性标尺、读取磁头和检测电路等三部分构成。 1.磁性标尺 磁性标尺是在非导磁材料基体上涂敷或镀上一层很薄的磁膜之后录磁。 2.磁头 磁头是关键部件，作用是进行磁—电转换的变换器。 磁性标尺 速度响应型磁头工作原理图 §4.5 磁栅 磁通响应型磁头工作原理图 左图是磁通响应型磁头的构造原理图。 它相当于在速度响应磁头的铁心回路中，加入了带有激磁线圈的可饱和铁心，当激磁线圈上通入高频激磁电源后，在读取线圈上输出载波频率为高频激磁电流频率二倍频率的调制信号。其输出电压为： 由此可见，输出电压由磁头在磁性标尺上的位置所决定，而与磁头和磁性标尺之间的相对速度无关，所以在低速甚至在静止时也能检测出磁性标尺上的磁化信号。 由于输出信号电压很小（几毫伏至十几毫伏），如果用一个磁头读取磁性标尺上的磁化信号是很难实现的。所以采用将几个磁头到几十个磁头以一定方式串接起来组成多间隙磁头，则构成多间隙磁通响应型磁头。这种磁头具有高精度，高分辨力和大的输出电压特点 多间隙磁通响应型磁头结构 脉冲编码器是一种旋转式脉冲发生器，能把机械转角变成电脉冲，是数控机床上使用很广泛的位置检测装置。脉冲编码器可分为增量式与绝对式两类。 ? 1.绝对式编码器 绝对式编码器是一种旋转式检测装置，可直接把被测转角用数字代码表示出来，且每一个角度位置均有其对应的测量代码，它能表示绝对位置，没有累积误差，电源切除后，位置信息不丢失，仍能读出转动角度。绝对式编码器有光电式、接触式和电磁式三种，以接触式四位绝对编码器为例来说明其工作原理。 §4.6 脉冲编码器 a) b) 四位二进制编码盘 上图所示为二进制码盘。它在一个不导电基体上作成许多金属区使其导电，其中有剖面线部分为导电区，用“1”表示；其它部分为绝缘区，用“0”表示。每一径向，由若干同心圆组成的图案代表了某一绝对计数值，通常，我们把组成编码的各圈称为码道，码盘最里圈是公用的，它和各码道所有导电部分连在一起，经电刷和电阻接电源负极。在接触式码盘的每个码道上都装有电刷，电刷经电阻接到电源正极。当检测对象带动码盘一起转动时，电刷和码盘的相对位置发生变化，与电刷串联的电阻将会出现有电流通过或没有电流通过两种情况。若回路中的电阻上有电流通过，为“1”；反之，电刷接触的是绝缘区，电阻上无电流通过，为“0”。如果码盘顺时针转动，就可依次得到按规定编码的数字信号输出，图示为4位二进制码盘，根据电刷位置得到由“1”和“0”组成的二进制码，输出为0000、0001、0010……1111。 由图可以看出，码道的圈数就是二进制的位数，且高位在内，低位在外。其分辨角θ＝360o/24=22.5o，若是n位二进制码盘，就有n圈码道，分辨角θ＝360o/2n，码盘位数越大，所能分辨的角度越小，测量精度越高。若要提高分