电场传感器侦测电场的利眼.PDF

电场传感器 ：侦测电场的“利眼” 夏善红 彭春荣 陈贤祥 郑凤杰 杨鹏飞 闻小龙 陈博 方东明 王宇 方奕庚 储昭志 顾植彬 中国科学院电子学研究所 围绕国家重大需求，自主创新，创造性地发展了电场传感器及其实际应 用，系统地解决了从设计、工艺到应用的关键技术，填补了国内外空白。 电场就在我们周围，看不见，摸不着，需 要感测电场的传感器来实现。尽管电场探测长 期以来受到人们的关注，但是电场探测仪器设 2 0 备的发展相对缓慢。传统电场探测仪体积大、 1 结构复杂、价格昂贵，工作时空间分辨率低、 5 使用不便、故障率较高。 为满足我国火箭、航天卫星发射的安全条 件保障、电网和石油石化等多个领域应用的迫 切需求，自从 2000 年开始，在国家自然科学基金、 “863”计划等项目资助下，历时 15 年，开始了 研究空间电场探测器件自主创新的过程，取得 了一系列重大突破，研制出只有小拇指甲盖大 小的微型电场传感器核心芯片，开发出适合于 地面、空中、电网等领域的系列化产品。 1/30 微型电场敏感芯片基于微加 实现器件微型化的微机电系统（MEMS）技术 工技术制备，敏感结构特征 微机电系统技术是一种新型多学科交叉的 尺寸只有微米量级，大约有 技术，涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、 人类头发丝的 1/30。 61 FLASH INNOVATION 创新在闪光 2015年 材料等多学科。早在 1959 年就有科学家提出微型机械的设想，但直到 1962 年才出现属 于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其后尺寸为 50 ～ 500 微米的齿轮、齿轮泵、 气动蜗轮及连接件等微型机构相继问世。 微电子机械系统（以下简称 MEMS）的制造，是从专用集成电路（ASIC）技术发展 过来的，如同 ASIC 技术那样，可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比 ASIC 制造 更加复杂，这是由于 MEMS 的制造涉及三维立体加工出微小结构，需要采用敏感生物、 化学和物理特性的一些特殊材料。 由于 MEMS 器件和系统具有体积小、重量轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优 异、功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、 生物医学、环境监测、军事以及人们接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。 2 开启空间电场侦测的 “心脏”微型化征途 0 1 采用基于 MEMS 技术实现电场敏感器件很早就成为了项目组探索空间电场探测器件 5 微型化的最主要的方案之一。 在 2000 年，项目负责人带队到我国西昌卫星发射基地考察调研，发现当时我国使用 的空间电场探测设备陈旧落后，为了更好保障航天发射的安全，需要大量微小型、高性能、 低成本的电场传感器，否则难于满足空间电场探测和日常业务应用的需求。项目组负责