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圆形台面中的AlAsAlGaAs湿法氧化动力学规律
第 卷增刊 半 导 体 学 报
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动力学规律#
董立闽 郭 霞 渠红伟 邓 军 杜金玉 邹德恕 沈光地
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北京工业大学电子信息与控制工程学院 北京市光电子技术实验室 北京
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摘要 湿法氧化技术是制备氧化物限制型 工艺中极为重要的一步 形成的氧化孔会直接
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影响到器件的各个特性参数$
故有必要对氧化动力学规律进行深入地研究 首先根据大量氧化实验得到了一般氧
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化规律曲线 再通过结合一维 氧化动力学模型 对比一维条形 二维圆形凸 凹台面的氧化规律 推导出
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了简单实用的二维圆形台面的氧化模型 所得模型曲线与实验数据均吻合较好 并成功地运用此模型实现了对氧
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化孔大小的精确控制2
关键词’ ( (湿法氧化
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中图分类号’ 文献标识码’ 文章编号’ $
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实验
! 引言 !
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样品由低压金属有机化学气相沉积 #
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近年来$ . 湿氮氧化技
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