薄膜材料 第七章 薄膜材料及其应用.ppt

第七章 薄膜材料及其应用 薄膜材料的种类很多，应用领域广泛，下面只是对机械、电子学、磁学、光学应用和纳米薄膜材料作简单介绍。 耐磨及表面防护涂层 金刚石薄膜 集成电路中的薄膜材料 磁性薄膜材料 纳米薄膜 7.1 耐磨及表面防护涂层 耐磨及防护涂层技术的应用可以有效的降低各类部件的机械磨损、化学腐蚀及高温氧化倾向，从而延长其使用寿命。 涂层材料涉及各种氧化物、碳化物、氮化物、硼化物陶瓷（如Al2O3、SiC、TiN、WC、TiB2等）、某些合金材料或金属间化合物（如CoCrAlY、NiAl、TiAl等）。 机械涂层主要有以下三方面应用： （1）耐磨涂层 使用耐磨涂层的目的是减少零件的机械磨损，因而一般涂层均是由硬度极高的材料制成的。 典型的例子是各种切削刀具、模具、工具和摩擦零件的TiN和TiC涂层。 7.1.1 硬质涂层 常用于硬质涂层的材料可分为陶瓷以及金属间化合物两类，而基底材料则是一些高强度、高韧性的合金材料。 硬质涂层可分为以下几类： 第一类硬质涂层材料是离子键特征的Al、Zr、Ti等的高熔点氧化物； 第二类是各种共价键的硼化物、碳化物、氮化物陶瓷； 第三类属于过渡族金属的碳化物、氮化物和硼化物等金属间化合物。 这些材料具有以下共同特点： 第一，都具有很高的硬度、熔点和弹性模量；这是采用硬质涂层的原因。 第二，这些材料的线膨胀系数较低，而氧化物陶瓷的导热系数又显著低于其他材料； 第三，这些材料的断裂韧性要低于常用的金属材料。 这两个特点决定了硬质涂层不可避免地存在着的问题，包括涂层的残余热应力及与其密切相关的涂层与衬底之间的附着力，涂层的疲劳及抗冲击性能等。 涂层材料与基底材料线膨胀系数的差别将引起涂层及基底中产生很大的热应力，严重时会导致涂层从基底表面脱落。 除了静态下的应力水平外，另外一个衡量涂层抵抗温度变化引起的应力的指标是热冲击抗力ST。 热冲击抗力与由温度差△T引起的热流密度和由线膨胀系数不匹配以及温度变化引起的热应力之比有关 因此，热冲击抗力ST相当于在表面涂层中产生单位应力时，相应达到的热流密度与涂层厚度的乘积。 因而， ST的数值越大，则表示涂层受到一定大小的热冲击时产生的应力越小，发生断裂的倾向越低。 （2）中温法（700~850 ℃ ） TiCl4+CH3CN+(5/2)H2→Ti(C,N)+ CH4 + 4HCl （3）低温法（300~700 ℃ ） 2TiCl4 ＋2N2＋7H2 → 2TiN＋8HCl＋2NH3 CVD法制备硬质涂层的优点在于可以方便的实现对大量的部件同时进行涂层的沉积。同时，变换不同的气体组分就可以制备不同的涂层。 蒸发、溅射、离子镀等各种PVD方法也可被用来制备各种硬质涂层。 与CVD法相比，PVD法的主要优点在于其沉积温度范围（200~600℃）明显低于CVD法，因而适用于沉积温度不能过高的各类钢制零件的涂层处理，并可以减少零件变形，元素扩散影响附着力等可能出现的问题。 7.1.2 热防护涂层 提高高温合金使用温度，防止它在高温氧化环境中产生性能退化的一个有效途径，就是对它加以热障涂层（thermal barrier coating）。这种热障涂层通常是由一层金属涂层和一层氧化物热防护层组成的复合涂层。 7.1.3 防腐涂层 防腐涂层的种类可以依据要求保护的材料和使用环境的不同有很大差别。各种防腐涂层包括： （1）阳极防护性涂层 Zn、Al、Zn－Al、Al－Mg－Re（稀土元素）合金的涂层可以依靠涂层自身较负的电极电位，提高被涂层的钢铁材料抵抗各种大气及海水条件的腐蚀能力。这时，涂层本身作为阳极，保护了作为阴极的钢铁基底，如图7.5所示。 (2)不锈钢及各种镍铬合金涂层 不锈钢表面会自然形成一层致密的Cr2O3保护膜，具有良好的耐腐蚀性能和适当地强度、韧性、耐磨性和可加工性，与钢铁材料基底的附着性好，因而常被喷涂在各种机械部件上，用以提高其抗腐蚀性。 镍铬合金的耐热性和高温耐酸碱腐蚀的性能好，而且致密性高、耐磨性好，与钢铁材料基底有较强的附着力，是制备耐热、耐蚀涂层的典型材料。 （3）陶瓷材料涂层 陶瓷材料一般均具有较好的抗腐蚀性能，还具有较好的耐热性能和耐磨性能，因而也可被用来制造耐腐蚀涂层。例如ZrO2涂层、Al2O3、Cr2O3以及其复合氧化物。 7.2 金刚石薄膜 金刚石具有一系列优异的物理性质，包括在已知物质中最高的硬度、耐磨性和弹性模量，极高的电阻率、击穿场强和很低的介电常数，宽的光谱透过范围，极高的热导率，极低的线膨胀系数，很宽的禁带宽度，极高的载流子迁移率以及极高的化学稳定性等。P292表7-2 因此，金刚石不仅可以作为优异的工具、介电和光学材料，而且还是一种极佳的高温半导体材料。 7.2.1 金刚石薄膜的制备技术 根据图7.6，金刚石只有在高