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薄膜材料与技术实验报告
实验一
脉冲激光沉积方法制备ZnO薄膜实验
一、实验目的
（1）通本实验使学生了解真空泵的使用方法和真空计的测量原理。
（2）使学生了解并熟悉脉冲激光沉积系统的结构和使用方法。
（3）掌握在硅基片上沉积ZnO薄膜的工艺过程。
二、实验原理
（1）脉冲激光沉积方法介绍
（2）ZnO薄膜简介（结构、性能）
三、实验内容
（1）基片的清洗。
（2）低真空和高真空的获得与测量，使用真空计进行真空的跟踪测量。
（3）设定实验工艺参数制备ZnO薄膜。
四、实验原料与器材
（1）实验原材料： 基片、靶材、气体等
（2）实验仪器：
五、实验步骤与记录
六、分析讨论
实验二
脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜实验
一、实验目的
（1）进一步了解脉冲激光沉积方法原理。
（2）利用脉冲激光沉积方法在硅基片上沉积类金刚石薄膜。
二、实验原理
（1）脉冲激光沉积原理及特点
（２）类金刚石薄膜介绍
三、实验内容
（1）高真空的获得与测量方法。
（2）等离子体羽的形成。
（3）设定实验工艺参数制备类金刚石薄膜。
四、实验原料与器材
（1）实验原材料：
（2）实验仪器：(介绍各个组成部分)
五、实验步骤与记录
六、分析讨论
七、实验报告要求
（1）描述实验过程中观察到的各种现象，并给出合理的解释。
（2）实验装置中各主要部分的用途。
（3）详细记录实验过程、工艺参数及实验步骤，给出ZnO薄膜制备的实验研究报告。
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