[工学]第四章 电容传感器.ppt

第四章 电容传感器 集成电容传感器 电容传感器 ? 测量范围大，相对变化量可大于100％; ? 灵敏度高，分辨率高； 动态响应时间短； 机械损失小； 结构简单，适应性强，可非接触测量。 4.1 工作原理与类型 一、工作原理 两个金属板间的电容为 1. 变极距（δ）型电容传感器 1. 变极距（δ）型电容传感器 由上面两式知，δ0减少可使灵敏度K增大，但非线性误差也增大。 1. 变极距（δ）型电容传感器 差动变极距（δ）型电容传感器 2.变面积（S）型电容传感器 ⑴.角位移式 ⑵.直线位移式 ⑶.圆柱形 3.变介电常数(ε)型电容传感器 ⑴.电容液位计 ⑵.用于测量厚度或介电常数的变介质传感器 4.2 测量电路 一、测量电桥 2. 差动桥 （1）初态时：两传感器电容C1=C2=C0， △ C1=△ C2=△ C=0， （1）初态时：两传感器电容C1=C2=C，此时电桥空载输出，即电桥处于平衡状态。 （2）工作时 ： 电桥电路特点： 1. 接高频正弦电源； 2. 输出阻抗高（一般可达几兆欧到几十兆欧），输出电压低，必须在输出端后接高输入阻抗、高电压放大倍数的集成运算放大器。 第二节 转换（测量）电路 二、运算放大器测量电路 二、运算放大器测量电路 三、差动脉冲调宽电路 基本RS触发器 S R Q n+1 0 0 不定 0 1 1 1 0 0 1 1 不变 三、差动脉冲调宽电路 三、差动脉冲调宽电路 （1）变d型 对于变d型差动电容传感器，传感电容的大小与极间距离d成反比，此时 （2）变S型 对于变S型差动电容传感器，传感电容的大小与极板的有效面积S成正比，即对应于C1=C+ΔC，C2=C－ΔC时， 第三节 电容式传感器的误差分析 一、温度影响 2、温度对介质介电常数的影响 电容器极板间的介值应选择介电常数较稳定的材料，如云母。 二、电容电场的边缘效应 三、寄生与分布电容的影响 补偿措施： 缩短传感器到测量电路前置级的距离； 驱动电缆法； 整体屏蔽法 第四节 电容式传感器的应用 一、电容式差压变送器 二、电容式测微仪 三、电容式液位计 作业题： 1.若有一单组式变面积型平板型线位移电容传感器，两极板相互覆盖宽度为4mm，两极板的间隙为0.5mm，极板间介质为空气，试求其静态灵敏度？若极板相对移动2mm，求电容变化量？ ?2.对变极距式电容传感元件，若初始极板间距为δ0=1mm，当电容C的线性度规定为： (1)0.1%；（2）1%； （3）2%时 求允许的极距最大变化量△δmax。 ?3.简述差动脉冲调宽电路的优点，并推导变面积型差动电容传感器的输出电压。 此时差动输出电压平均值可改写为 S1=S+ΔS，S2=S－ΔS， 1. 温度对结构尺寸的影响 温度主要影响传感器的结构尺寸。当温度上升时，电容器极板的面积将增大，极板的厚度增加导致极间距离减小，使电容量增加。 补偿措施： 选择温度系数小的金属材料作电容器极板；采用差动结构。 补偿措施：增加电容器极板面积、减小极间距离、加装等电位环等。 P82 测量膜片 测量膜片 绝缘体 固定电极 可动电极 初态时，可动电极居中 测量时 由于 很小 差动输出 电容式液位计探头结构图 检测与传感技术 工作原理与类型 测量电路 电容式传感器的误差分析 电容式传感器的应用 寄生电容影响较大，降低了测量灵敏度； 与传感器联接的线路较复杂。 优点： 缺点： 1.变换原理: 将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + ? S ? 当被测量δ、S或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。 电容式传感器 2 分类 电容式传感器 c) 介质变化型 a) 极距变化型; + + + b)面积变化型:角位移型,平面线位移型,柱面线位移型. + + + + + + 极距变化型 二、类型 1. 变极距（δ）型电容传感器 2. 变面积（S）型电容传感器 3. 变介电常数（ε）型电容传感器 忽略高次项 电容微位移计 灵敏度 线性度 因此常采用差动式结构，以提高灵敏度，减少非线性误差。 怎么办？ 差动式 一般式 比较 差