CN107385409-CN201710656119-选择性太阳能热吸收产品的镀膜方法和涂层膜系.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107385409 A (43)申请公布日 2017.11.24 (21)申请号 201710656119.8 C23C 14/16(2006.01) C23C 14/10(2006.01) (22)申请日 2017.08.03 C23C 14/06(2006.01) (71)申请人 福建新越金属材料科技有限公司 F24J 2/48(2006.01) 地址 366000 福建省三明市永安市尼葛工 业园北区1188号 (72)发明人 马丁 森斯　巫仕才　眭凌杰　 · 赖纳 霍夫曼　孙伟明　姜其伟　 · 杨兴磊　 (74)专利代理机构 泉州市博一专利事务所 35213 代理人 方传榜　俞兰周 (51)Int.Cl. C23C 14/56(2006.01) C23C 14/34(2006.01) C23C 14/30(2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 选择性太阳能热吸收产品的镀膜方法和涂 层膜系 (57)摘要 选择性太阳能热吸收产品的镀膜方法和涂 层膜系，涉及薄膜镀制技术领域，该镀膜方法包 括以下步骤：（1）不锈钢带材(SST)先通过入口锁 闭室(EC1)；（2）不锈钢带材(SST)进入预处理区， 采用辉光放电预处理(P1)和/或逆向溅射刻蚀预 处理(P2)；（3）不锈钢带材(SST)进入溅射镀膜 区，镀制中间涂层子膜系(CL1–CLn)和介质层 (DL)；（4）通过出口锁闭室(EC2)。本发明的有益 效果：该镀膜方法制成的选择性太阳能热吸收薄 膜涂层拥有对中性盐雾气氛的良好抗性，并且具 有吸收率稳定、发射比稳定、颜色变化ΔE*ab指 A 标小等优点。 9 0 4 5 8 3 7 0 1 N C CN 107385409 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.选择性太阳能热吸收产品的镀膜方法，其特征在于：该镀膜方法所使用的真空镀膜 系统(VCS)依次包括入口锁闭室(EC1)、预处理区、溅射镀膜区和出口锁闭室(EC2)；该镀膜 方法包括以下步骤：（1）不锈钢带材(SST)先通过入口锁闭室(EC1)，入口锁闭室(EC1)通过 采用若干单独的密封区来确保气体压力从大气压逐步地降低到高真空状态；（2）不锈钢带 材(SST)进入预处理区，预处理区采用辉光放电预处理(P1)和/或逆向溅射刻蚀预处理 (P2)；（3）不锈钢带材(SST)进入溅射镀膜区；该溅射镀膜区依次包括第二溅射区(SP2)和第 三溅射区(SP3)，在第二溅射区(SP2)中，镀制中间涂层子膜系(CL1 – CLn)；在第三溅射区 (SP3)中，在中间涂层子膜系(CL1-CLn)上镀制介质层(DL)；（4）通过出口锁闭室(EC2)，该出 口锁闭室(EC2)通过采用若干单独的密封区来确保气体压力再次从真空状态逐步地增加回 到大气压下。 2.根据权利要求1所述的选择性太阳能热吸收产品的镀膜方法，其特征在于：还包括解 卷机(UC)、入口