测控仪器设计2011上课第二章节幻灯片.ppt

五、其他方法 数学逼近法 逐步投影法 矢量代数法 球面三角法 经验估算法 实验测试法 第四节 仪器误差的综合 一、随机误差的综合 分布规律：正态分布、均匀分布、三角分布、反正弦分布等 一般在综合时采用均方法和极限误差法 （1）均方法 （2）极限误差法 二、系统误差的综合 （一）已定系统误差的合成 （二）未定系统误差的合成 （1）绝对和法 （2）方和根法 微小位移 光学杠杆 物镜 光电接受器件 第五节 仪器误差分析与综合举例 一、立式光学计原理与结构 结构： 原理： 立式光学计 测量范围:180mm 示值范围:±0.1mm 分辨率:0.1μm 测量力：2±0.2n 示值变动性：0.1μm 光学放大比:31.25 摆动臂长a:6.4mm f:100mm f a O a s y y f 平面镜 量杆 光栅 二、立式光学计精度分析 2、原理误差 （一）仪器中的主要未定系统误差 1、光栅的刻划误差△1所引起的局部误差 调整原理误差的方法 二、立式光学计精度分析 4、物镜畸变所引起的局部误差 3、由于杠杆短臂调整不准所引起的局部误差 2、原理误差 （一）仪器中的主要未定系统误差 1、光栅刻划的刻划误差△1所引起的局部误差 （二）组成仪器误差的主要随机误差 1、由于量杆配合间隙引起的局部误差 配合间隙设计为0.002mm，配合长度28mm 量杆倾斜角： 2、读数误差 单次读数误差,仪器显示分辨率为0.1μm。 需两次读数 △a a 28 25 △S S （二）组成仪器误差的主要随机误差 1、由于量杆配合间隙引起的局部误差 配合间隙设计为0.002mm，配合长度28mm 量杆倾斜角： 2、读数误差 单次读数误差为仪器分度值的1/10，即±0.1μm 需两次读数 3、测量力引起的误差 规定测量力为（2±0.2）N 压陷量 测量力变化带来的误差 上述所有各项未定误差与随机误差的综合，得到立式光学及合成总不确定度为： （三）测量误差 1、标准件误差（量块检定误差） 2、温度引起的误差 仪器测量总误差 当L=10~180mm以内时 第六节 仪器精度设计 精度设计是精度综合的反问题 根本任务： 将给定的仪器总误差合理地分配到仪器的各个组成环节上 为正确设计仪器的结构及公差等提供依据 一、仪器精度指标的确定 （一）微小误差原理 要求： 若略去此项误差对总误差的影响小于不略去此项误差的结果的1/10 此项误差可被视为微小误差 略去UI，UM=Uoth 按微小误差定义： 测量仪器和标准的误差只需为测量总误差的三分之一，其对测量精度的影响是微小的。 （二）Mcp检测能力指数法 （1）参数检验 特点：通过判断被测参数的量值是否处于事先规定的范围T 之内 UM≤T （2）参数监控 特点：参数量值不仅进行检测，还要利用测出的参数信息去控制生产过程，使参数量值最终控制在规定的范围内 （3）参数测量 UM≤△允 特点：仅仅要求测定被测参数的具体量值 Mcp检测能力指数用以衡量检测能力的状况 定义： u为测量结果的标准不确定度 UM为测量结果的总不确定度（置信概念99.7% kp=3) T值范围: 参数检测：被测参数的公差 参数监控：被控参数制造误差 参数测量：两倍允许的测量误差 经济性和精度两方面考虑 1）经济性 UI↑降低成本 2）精度 UI ↓微小误差 在实践检验中，取UI/U=0.1~0.9 一般取U=1.5UI 用测量仪器的不确定度UI去估计Mcp 依据Mcp的大小检测精度分为五级（见P46表2-2） 二、误差分配方法 （一）系统误差分配 该项误差数量较少，影响很大 其分配是在原理和设计完成后进行 分配过程 算出原理性的系统误差 依误差分析的结果找出产生系统误差的可能环节 算出仪器局部的系统误差 合成总系统误差 合成后总系统误差大于允许的总误差 采取措施减少误差值或重新设计 合成后系统误差〉1/2或〈总极限误差 减少有关环节误差值，采取误差补偿措施 合成后系统误差〈1/3总误差 初步可认为设计合理，待确定随机误差值时，再综合平衡 （二）随机误差分配 注意：随机误差和未定系统误差同时进行分配 数量多，采用方和根法进行综合 依据等作用原则与加权作用原则来分配 1、按等作用原则分配 该原则认为：仪器各环节和各零部件的原误差对仪器总精度的影响是同等的 2、按加权作用原则分配 该原则认为：在仪器的误差分配过程中，不仅要考虑仪器中的各个环节的误差对仪器总精度的影响程度的不同，还要考虑仪器不同环节误差控制的难易程度。 （三）误差调整 以经济公差、生产公差和技术公差作为衡量误差分配合理性的标准。 经济