江南大学电镜精品课件.ppt

1、分辨率 6.0nm(钨丝阴极) 2、放大倍数 15倍～250000倍 3、电子光学系统 电子枪： 发叉式钨丝阴极  加速电压：0～30KV  透镜系统：三级电磁透镜  物镜光阑：三个可在真空外选择调节 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜 CSPM 3000系列扫描探针显微镜 广泛的应用范围 物理学 化学 生物和生命科学 材料科学 微电子科学和技术 表面科学 纳米科学和技术 CSPM3000系列多模式扫描探针显微镜 性能指标 ■ 分辨率： 扫描探针显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标） 原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标） ■ 探针激励信号： 振幅为0～2V 频率为 DC～1000kHz （32-bit分辨率） AP-990?原子力显微镜? ?????????????????? Atomic Force Microscopes 观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的失效分析. 扫描探针显微镜 Scanner ???X,Y?scan?size:?200?×?