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第五章 压电传感器 ;在完全黑暗的环境中,将一块干燥的冰糖用榔头敲碎,可以看到冰糖在破碎的一瞬间,发出暗淡的蓝色闪光,这是强电场放电所产生的闪光,产生闪光的机理是晶体的压电效应。;第一节 压电传感器的工作原理;压电式传感器是一种典型的有源传感器 ;
压电效应具有可逆性,也是一种典型的“双向传感器”;
压电式传感器的特点:
工作频带宽,灵敏度高,结构简单,体积小,重量轻,工作可靠。
压电效应最贴近生活的应用:
燃气灶与打火机;一、压电效应;自然界中与压电效应有关的现象很多,例如在敦煌的鸣沙丘上,当许多游客在沙丘上蹦跳或从鸣沙丘上往下滑时,可以听到雷鸣般的隆隆声。产生这个现象的原因是无数干燥的沙子(SiO2晶体)在振动压力下,表面产生电荷 ,在某些时刻,恰好形成电压串联,产生很高的电压,并通过空气放电而发出声音。
与此相反,在音乐贺卡中是利用集成电路的输出脉冲电压,来激励压电片,利用逆压电效应产生振动而发声的。;清代诗人苏履吉赞颂鸣沙的“雷送余音声袅袅,风生细响语喁喁”。;(一)石英晶体;天然形成的石英晶体外形(续) ;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器(晶振);石英晶体的特性与其内部分子结构有关。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子,在垂直于z轴的xy平面上的投影,等效为一个正六边形排列。
定性分析:
当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的电偶极矩,且三个电偶极矩的矢量和为0。;在晶体的线性弹性范围内,在x方向所产生的电荷qx与作用力Fx成正比,即
qx =d11Fx
式中,
d11-压电系数,当受力方向和变形不同时,压电系数也不同,石英晶体的d11=2.31*10-12C/N
qx--垂直于X轴的平面上的电荷
Fx-沿X轴方向施加的作用力;由上述公式我们看到:
电荷qx的符号表示受压力还是受拉力
切片上产生的电荷多少与切片的尺寸无关,即qx与Fx成正比
晶片电荷极性与受力关系
极间电压 ;若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力Fy,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为
qy=d12(L/a)Fy
式中,
d12---y轴方向受力的压电系??,根据石英晶体的对称性,有d12=-d11;
qy---垂直于x轴平面上的电荷
Fy---沿y轴方向施加的作用力
L、a-晶体切片的长度、厚度;由上述公式我们看到:
沿机械轴y方向作用力在晶体表面产生的电荷与晶体切片的尺寸有关;
沿y轴作用力所产生的电荷极性与沿x轴作用力所产生的电荷极性是相反的。;当石英晶体沿z轴方向作用力时,由于晶体沿x轴方向和y轴方向产生同样的变形,因此沿z轴方向施加作用力时,石英晶体不会产生压电效应,即d13=0 ;(二)压电陶瓷;压电陶瓷的极化过程;压电陶瓷外形;无铅压电陶瓷及其换能器外形 (上海硅酸盐研究所研制);(三)高分子压电材料 ;高分子压电薄膜及拉制 ;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆;可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板;压电式脚踏报警器;高分子压电薄膜制作的压电喇叭(逆压电效应);压电材料的特性:
(1)压电系数:是衡量材料压电效应强弱的参数,与压电输出灵敏度有关。
(2)弹性常数:压电材料的弹性常数、刚度决定着压电元件的固有频率和动态特性。
(3)介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关;而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。
(4)机械耦合系数:在压电效应中,转换输出能量与输入能量之比的平方根,是衡量压电材料机械能 — 电能转换效率的一个重要参数。
(5)电阻:压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏,从而改善压电传感器的低频特性。
(6)居里点温度:是指压电材料丧失压电特性的温度。;压电晶片的连接方式;第二节 压电传感器的测量转换电路 ;根据压电片的串并联,其等效电路为电压源和电荷源;并联输出型压电元件可以等效为电荷源。
压电效应产生的电荷量很小,达到pA级电流。因此在接成电荷输出型测量电路时,也要求前置放大器不仅有足够的放大倍数,而且还需要有极高的输入阻抗。;电
荷
源
测
量
电
路;压电传感器的测量转换电路 ;四通道电荷放大器外形;上图所示的四通道电荷放大器指标(参考东方振动和噪声技术研究所资料);超小型电荷放大器模块;其他电荷放大器外形;其他电荷放大器外形(续);多通道电荷放大器外形
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