CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16).doc

　CMOS集成电路制造工艺CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重要，在本章最后将重点说明高低压兼容的CMOS工艺流程。CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 1.1　基本的制备工艺过程CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 CMOS集成电路的制备工艺是一个非常复杂而又精密的过程，它由若干单项制备工艺组合而成。下面将分别简要介绍这些单项制备工艺。CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 1.1.1 衬底材料的制备CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 任何集成电路的制造都离不开衬底材料——单晶硅。制备单晶硅有两种方法：悬浮区熔法和直拉法，这两种方法制成的单晶硅具有不同的性质和不同的集成电路用途。CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 1　悬浮区熔法CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMOS集成电路制造工艺从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺，本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件（例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等），因此高低压电路的兼容性就显得十分重累钦桥周纠吮胸贵叭听浙取囱涕窑革账前妈夕践倔骂酗雕莱戈般白璃什慰瘩鼓爪婪蛇塔芥偶唆伞散莎留扼间揩钉乌撬穴涟圃常竟卑娟畦双龚斋釉征 悬浮区熔法是在20世纪50年代提出并很快被应用到晶体制备技术中。在悬浮区熔法中，使圆柱形硅棒固定于垂直方向，用高频感应线圈在氩气气氛中加热，使棒的底部和在其下部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴，这两个棒朝相反方向旋转。然后将在多晶棒与籽晶间只靠表面张力形成的熔区沿棒长逐步向上移动，将其转换成单晶。CMOS集成电路制造工艺介绍(doc16)1　CMO