大宗硅烷供气系统设计.pdfVIP

中国动力T程学会丁业气体专业委员会2009年技术论坛论文集 大宗硅烷供气系统设计 李东升 (上海正帆科技有限公司，上海201109) 摘要：介绍了硅烷的性质，国内外行业规范要求，以及其供气系统的工艺和奉质安全设计的要点．同时 对辞烷的U常使用和应急反应提出了建议，确保系统的安全可靠运行． 关键词：硅烷、供气系统、工艺设计、本质安全 1．前言 硅烷是半导体行qk重要的原料气体之一。大宗硅烷丰要指采用大包装容器，如Y-钢瓶、 集装格、长管拖车等的硅烷。硅烷的大宗特气供应系统(BSGS)广泛应用于8”以上超大规模 集成电路芯片牛产、100MW以上的人阳能电池片生产、以及5代以上液晶显示器牛产等行 业。这些行业投资规模巨大，采用先进的工艺设备，用气需求大，对稳定和不问断供应、纯 度控制和安全生产提出了最严格的要求。采用大宗硅烷供气系统的优点丰要是减少容器更换 次数、提升操作安全性、降低污染可能性、降低原料采购尊位成本以及降低容器更换所产生 质量波动等。 2．硅烷的基本性质 硅烷是一种无色气体，比蕈1．2(空气=1)。硅烷属于自燃性气体，自燃温度为．50℃， 1．37纠．5％时，遇外界点火源时，会产生爆燃，速度可达5m／s。当空气中硅烷浓度高于 4．5％时，处于亚稳定状态，会发生延迟自燃；浓度越高，延迟时问越短。这种延迟自燃会 导致爆燃或爆轰。硅烷在空气中燃烧的化学反应方程式如下： Sill4+20：4-7．52N2—}Si02(s)+2H_,O+7．52N2 硅烷在空气中燃烧的化学当量浓度为9．51％。每l埏硅烷燃烧，会产生1．87k的二氧 化硅。硅烷的首要危害是它的自燃性，毒性为次要危害。硅烷的半数致死浓度(LCso)为 9,600ppm(白鼠，4小时吸入)。工作场所限制浓度阈值为5ppm。 3．规范现状 目前我国针对硅烷和其它电子特气的设计规范正在制定中。该规范发布前，基本借鉴现 行嗣家标准《建筑设计防火规范GB50016》、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范 GB50058》、《常用危险化学品的分类及标志GBl3690》、《常用化学危险品贮存通则 和《气瓶安全监察规程》等。 阳际上针对硅烷其混合气的使用和储存已经制订了非常详细的规范。代表性的有美阿压 的80规范，半导体设备和材料协会(SEMI)的S2标准，以及工厂互助公司(FM)的7．7规范等 等。 4．系统设计原则 大宗硅烷必须置于独立的开放式单层建筑建筑内，且不得有地下室。开放式指建筑支撑 和墙面遮挡部分小于蒯长的25％。如果有障碍物，足巨离应保证大于其高度的2倍。若不能 满足此条件，必须考虑强制通风，且障碍物距离不得小于高度。强制通风量应保证钢瓶阀门 和机械连接处的风速不小于O。8米／秒。选址需考虑运输和消防车辆的进出。 大宗硅烷站可采用有坡度的屋顶，用于防雨和阳光直射。屋顶最低点不得低于3．7米(建 议在4．5米以．卜：)。硅烷站确f积大于19m2时，必须有两个出口。站内任何地点通往出口的距 离不得大十24m。为了便于逃生，门上不得设置插销或挂锁，除非采用快开式推杆锁． 硅烷钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀。至少有～个紧急切断按钮距离气源不低于 4．6m。每个气站入【J外应设置手动紧急切断按钮。硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、 隔膜阀、调压阀。为了防l}：管路断裂造成的硅烷大最泄漏，大宗气源应配置卣径小于3．175mm 的限流孔板(RFO)。输送系统应配置过流开关(EFS)，并与紧急切断阀门连锁。 由于硅烷的焦耳．汤姆森效应非常明显，对于大流最输送系统，调压阀会出现结霜现象， 严蕈时会造成膜片变脆，无法调节压力。可通过对气体进行加热来解决。典型的硅烷BSGS 系统流程图如图l，布置罔如图2。 143 中国动力．T程学会T业气体专业委员会2009年技术论坛论文集 园 网l典型硅烷BSGS系统漉程图 圃