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直流 直流叠加脉冲 单脉冲 正负脉冲 长细直管 长细直管 图3.9不同电源波型氧化膜层截面SEM照片 热处理方案 直流条件制得硬度约400HV样品 在电阻炉内进行加热处理和随炉冷却 处理温度选择100~400℃ 保温时间1小时 微观形貌对比分析 物相分析 显微硬度测试分析 宏观形貌对比分析 摩擦性能测试分析 热处理后检测 热处理条件和研究方法 热处理温度与氧化膜层硬度的关系 图4.1热处理温度与膜层硬度变化曲线（通氢气保护） 图4.2热处理温度与膜层硬度变化曲线（无氢气保护） 486HV 452HV 热处理温度对外观形貌的影响 1# 2# 3# 4# 5# 6# 7# 图4.2不同处理温度时样品宏观形貌 （处理温度分别为：1#100℃、2#150℃、3#200℃、4#250℃、 5#300℃、6#350℃、7#400℃） 突起 热处理温度对外观形貌的影响 Anoding film Substrate Anoding film Substrate a Anoding film Substrate Anoding film Substrate 20μm 20μm 20μm 20μm 图4.3热处理后样品横截面的金相照片 (a-100℃;b-200℃;c-300℃;d-400℃) d c b Crack 100μm Crack 热处理温度对外观形貌的影响 图4.4热处理后样品表面微观照片 (A:200℃热处理、B: 300℃热处理 ) A B 热处理后氧化膜层韧性分析 Film a Substrate Substrate 20μm Film 20μm 100N 25N 50N 100N Crack b 图4.5热处理样品韧性分析照片(硬度压痕分析 )(a-200℃; b-300℃ ) 热处理对氧化膜层摩擦性能的影响 图4.7不同热处理温度时样品的磨损量 图4.6不同处理温度的摩擦系数曲线 热处理后样品XRD物相分析 图4.8热处理温度为100 ℃(A)和 300℃(B)时氧化膜层XRD图谱 （A） （B） 热处理后样品SEM微观形貌分析 b 图4.9热处理样品氧化膜层表面SEM扫描照片 (a-未经热处理; b-100℃; c-200℃; d-300℃) a c d a d c b 热处理后样品SEM微观形貌分析 a 图4.10热处理样品氧化膜层截面SEM扫描照片 (a-未经热处理; b-100℃; c-200℃; d-300℃) d c b 电化学方法 电泳 电沉积 电解 电渗 起主要沉积作用 对沉积起负作用 其它方法 颗粒直接进入多孔层 颗粒在膜中的机械夹杂 颗粒在膜层表面的吸附 复合阳极氧化的基本原理 添加纳米SiC颗粒的复合硬质阳极氧化 b a 图5.1添加纳米SiC颗粒氧化膜表面扫描电镜照片 （a-8g/L；b-15g/L） SEM微观形貌分析 添加纳米SiC颗粒的复合硬质阳极氧化 Intensity/Counts Energy/KeV Intensity/Counts Energy/KeV Intensity/Counts Energy/KeV （未复合SiC氧化） （复合SiC8g/L氧化） （复合SiC15g/L氧化） 图5.2 EDS能谱分析图（复合nano-SiC） 添加纳米SiC颗粒的复合硬质阳极氧化 图5.3 添加15 g/L nano-SiC颗粒复合阳极氧 化氧化膜XRD射线图 添加纳米SiC颗粒的复合硬质阳极氧化 图5.5 nano-SiC不同添加量氧 化膜层厚度变化 图5.4 nano-SiC不同添加量氧 化膜层硬度变化 440HV 46μm 氧化膜层硬度和厚度的变化 添加纳米SiC颗粒的复合硬质阳极氧化 图5.6 nano-SiC添加量对氧化膜耐磨性能的影响 8mg 氧化膜层耐磨性能变化 添加PTFE复合硬质阳极氧化 （复合PTFE5ml/L） （复合PTFE 25ml/L） （复合PTFE15ml/L） 图5.7 EDS能谱分析（复合PTFE） 氧化膜SEM能谱分析 添加PTFE复合硬质阳极氧化 图5.8 PTFE不同添加量膜 层硬度（A）和厚度(B)变化 (A) (B) 氧化膜层厚度和硬度的变化 添加PTFE复合硬质阳极氧化 图5.9 PTFE不同添加量时膜层的 磨损量变化 7mg 氧化膜层耐磨性能变化 摩擦系数的变化 图5.10 氧化膜层不同处理 条件摩擦系数 Sliding direction Collective particles (b) Fig. 5.11 Wear losses of the oxide films with the 5g/L Al2O3 and 17ml/L PTFE partic