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日立钨灯丝扫描电镜维护培训 用户维护操作及电镜工程师维护项目 内容提要 一、电子光学系统部件的维护 1、更换灯丝及其相关注意事项 2 、更换聚光镜光阑及其相关注意事项 3、更换物镜活动光阑及其相关注意事项 *4、更换物镜固定光栏及其相关注意事项 二、真空系统部件的维护 1、机械泵的维护 2 、空压机的维护 *3、分子泵的维护保养 三、探头的维护 *1、更换二次电子探测器的闪烁体 P. 1 一、电子光学系统部件的维护 P. 2 一、电子光学系统部件的维护 1 更换灯丝及其相关注意事项 更换预对中钨灯丝前需要准备的工具： ①一次性无尘手套 ②锡纸或铝箔 ③竹签和牙签 ④金属抛光膏 ⑤超声波清洗仪和烧杯 ⑥酒精 P. 3 一、电子光学系统部件的维护 1 更换灯丝及其相关注意事项 更换预对中钨灯丝前需要准备的工具照片 P. 4 一、电子光学系统部件的维护 1 更换灯丝及其相关注意事项 操作过程中的注意事项： 1、要等灯丝冷却之后才能更换灯丝。 2、检查韦氏帽内孔和阳极板是否发黑，如果已经变黑则需 要用金属抛光膏进行擦拭并使用超声波清洗仪在无水酒 精中清洗。 3、更换过程中注意不要让O型圈掉出孔槽。 4、更换灯丝后需要新设置灯丝饱和点，进行电子束对中操 作。 S-3400用户的操作请按照 “3D视频”进行，不操作ABS这 一步 P. 5 对中步骤 换完灯丝后的操作（最好选择空样品台） 1、物镜活动光阑全部拔出，即定在”0”处； 2、加速电压调到“15kv”或“5kv” 3、Probe current设为“80” 4、点击“AFS”自动灯丝饱和点调整；（若是5kv设定值，此时切 换到15kv检查emission current是否为大于180，以在200左右 最佳） 5、点开“alignment”，点击“reset all” 6、选中”beam align.tilt/shift”将图片亮度调至最亮 7、点开operate 选项，选择“filament image”,调整“beam align.tilt/shift”，将灯丝像调至大约中间 8、Probe current改为为“50”，机械对中物镜活动光阑，依次 1,2,3,4，每个均是画面亮暗均匀。 9、完毕，观察样品 P. 6 一、电子光学系统部件的维护 2 更换聚光镜光阑及其相关注意事项 更换聚光镜光阑前需要准备的工具： ①一次性无尘手套 ②锡纸或铝箔 ③聚光镜内衬管专用镊子（随电镜自带） ④尖头镊子（用于夹光阑片） ⑤超声波清洗仪和烧杯 ⑥酒精 P. 7 一、电子光学系统部件的维护 2 更换聚光镜光阑及其相关注意事项 更换聚光镜光阑前需要准备的工具照片