电感式传感器讲义.pptVIP

等效电感为： 解方程得到金属靠近后传感器（初级）的等效阻抗 线圈等效电阻为： 结论： 凡是能引起 R2 L2 M变化 的物理量均可以引起传 感器线圈R1 、L1的变化。 被测体（金属）的电阻 率ρ、导磁率μ、厚度d， 线圈与被测体间的距离X， 激励线圈的角频率ω等 都通过涡流效应和磁效 应与线圈阻抗Z发生关系 R2 L2 M L1 R1 X ω μ ρ d 结论： ρ、μ、d、X、ω的变化使R1、L1发生变化， 若控制某些参数不变，只改变其中一个参数， 可使阻抗 Z 成为这个参数的单值函数。 等效阻抗与这些参数有函数关系： 三、 涡流的分布和强度 1、涡流的分布： 因为金属存在趋肤效应，电涡流只存在于金属导体的表面薄层内,存在一个涡流区，实际上涡流的分布是不均匀的。涡流区内各处的涡流密度不同，存在径向分布和轴向分布。 金属 扁平线圈 涡流区 r/ros 1 h ros j 径向分布： 涡流范围与涡流线圈外径有一固定比例关系， 线圈外径确定后涡流范围也就确定了。 线圈外径处，r = ros 金属涡流密度最大； 线圈中心处，r = 0 涡流密度为零(j=0)； r 0.4ros处（以内）基本没有涡流； r = 1.8ros线圈外径处涡流密度衰减到最大值的5%。 涡流密度最大值在线圈外径附近一个狭窄区域内 金属 扁平线圈 涡流区 r/ros 1 h ros j 轴向分布： 由于趋肤效应涡流只在表面薄层存在， 沿磁场H方向（轴向）也是分布不均匀的。 Jz Jo/e h z h —— 趋肤深度 j0 —— 金属表面涡流密度(最大） jz —— 金属表面距离Z处的涡流密度 z——金属导体中某一点至表面的距离;  距离金属表面Z处涡流按指数规律衰减； 强度：当线圈与被测体距离（X）改变时，电涡流密度 发生变化，强度也要变化。金属导体表面的电涡流强 度I2 与距离X是非线性关系，随 x/r上升而下降。 I2只有在x/r1才能有 较好的线性和灵敏度。 X=0，I2=I1； X/ros=1,I2=0.3I1 Xros时电涡流很弱了，测大位移时线圈直径2ros要大 X/ros I2/I1 1.0 1 2 3 4 电涡流传感器测量的基本原理是当传感器的线圈与被测体之间的距离发生变化时，将引起线圈的等效阻抗变化，也是 、 、 都是位移的单值函数。因此，测量电路的任务就将 、 和 转换为有用的电压或电流的变化。相应地将有三种测量电路： 阻抗测量电路、 值测量电路、 电感测量电路。 四、测量电路 1、阻抗测量电路（ 值测试法） 当位移发生变化时，直接检测线圈的阻抗值的变化。通常采用电桥法测量。 振荡器产生的高频振荡电流经过功率放大器放大后送给交流电桥，当位移发生变化时，将使线圈阻抗变化，从而破坏电桥平衡，电桥不平衡电压信号输出，经过放大、检波以后，其输出信号就反映了被测量的变化。 2、调幅测试电路 （Q值测试法 ） 3．用于磁力轴承的自感式位置传感器 4．用于工件直径等尺寸测量的电感式传感器 1—引线电缆 2—固定磁筒 3—衔铁 4—线圈 5—测力弹簧 6—防转销 7—钢球导轨（直线轴承） 8—测杆 9—密封套 10—测端 11—被测工件 12—基准面 电感测微头 5.电感式不圆度计 该圆度计采用旁向式电感测微头 电感式不圆度测量系统外形 测量头 旋转盘 变气隙式电感测微仪 3.2 差动变压器式传感器（互感式） 把被测的非电量变化转换成为线圈互感 量的变化的传感器称为互感式传感器。 结构：中间初级，两边次级 铁芯在骨架中间可上下移动 这种传感器根据变压器的基本原理制成， 并将次级线圈绕组用差动形式连接。 差动变压器的结构形式较多,应用最多的 是螺线管式差动变压器。 它可测量1—100mm范围内机械位移。 次 级 次 级 骨架 初 级 衔 铁 次 级 次 级 初 级 一、工作原理 等效电路： 初级L1，次级线圈L2a、L2b必须反相串联接保证差动形式 如果线圈完全对称并且衔铁处于中间位置时两线圈 互感系数相等 差动输出电压为零： 电动势相等 可见: 输出电压大小和符号反映了 铁心位移的大小和方向。 当衔铁上下移动时，输出电压随衔铁位移变化。 若衔铁上移 若衔铁下移 二、基本特性 由此得到输出 电压有