超净车间工艺工程师作业指导书.docx

超净车间工艺作业指导书 一：简介 1 目的 为了规范超净车间工艺工程师的操作，提高工作效率，特制定本标准。 2 范围 本规范规定了超净车间操作过程中的注意事项，本规范适用于超净车间全体工艺工程师。 3 定义 无 4 职责 超净全体工艺工程师对此项工作负责。 二： 基本作业流程 2.1值班工程师职责 2.1.1 工作内容 巡视超净车间各工艺情况及人员操作状况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理,对车间内违规操作进行指正并记录； 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，定期对设备的各工艺参数进行复查 ，完成SPC相关工作； 对超净车间工艺异常（方阻异常，烧焦，扩散前清洗不净，绒面反片，滴源等）进行记录并查找原因进行处理，完成上班未完成的异常处理； 完成本车间内实验, 为生产人员设定好各种工艺参数,并配合其他车间工艺工程师完成各项实验和质??控制； 对本车间内扩散前清洗不净及制绒片带有粉沫等与制绒相关异常情况反馈给制绒工艺工程师；接受刻蚀工艺工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因； 对车间内异常进行数据追踪； 详细填写值班交接表，炉管点检表及工艺更改记录单，并完成日报相关内容，重大异常需及时反馈并写出异常报告。 2.1.2 异常报告机制 超净电阻异常反馈流程 当单组电阻出现异常超出SPEC范围或方阻超出CL线时，由质检通知工艺工程师，及时查找原因。 当班期间同一原因导致的电阻异常片大于等于2组时，需通知工艺主管工程师；同一原因导致的电阻异常片大于等于3组时，由主管工程师上报部门经理；出现电阻异常后，单管工艺调试时间大于等于4小时，仍效果不明显，无法按时交付生产时，通知工艺主管工程师；单管工艺调试时间大于等于8小时，且影响到生产产量时，由主管工程师上报部门经理。 注：当班期间同一原因导致的电阻异常片大于等于2组时，需在当班写出异常报告；或者同一原因导致的电阻异常片大于等于3组时，需由异常处理人写出异常报告； 其他异常反馈流程 当车间出现突发停电、停冷却水、停排风等异常时，工艺工程师需按相应流程及时处理，联系动力查找原因，并通知主管工程师。 清洗机纯水加不进去或自动炉前清洗机无法自动加酸，由工艺工程师联系设备或动力查找原因，异常持续时间大于或等于1小时，需通知主管工程师。 车间内发生其他违反工艺作业规范或影响车间正常生产的情况，视情节严重程度，通知主管工程师，情节较为严重情况需由主管工程师上报部门经理。 交接内容 A. 务必详细填写《交接记录表》、《点检表》，按照5W1H(what,who,where,when,why;how)原则，未完成的工作，日报完成情况，请交接清楚。 , B. 每班交接内容必须包括的内容有： 当班产生的异常片的统计，及具体情况，原因及解决状况等； 当班机台的异常状况详细记录（即便未造成任何产品损失）； 主管分配的工作或上一班交接下来的工作的完成情况； 三 异常处理（注：超净车间的处理片只可按照给定流程处理一次） 3.1测量要求与异常处理 A． 四探针复机流程 质量部用标准模块校准；用一级标片校准合格后，再用二级标片进行校准，二级标片的测量值与实际值的偏差值需在1ohm以内。 同一测量标准下，两台四探针的测量偏差值在0.5ohm以内。 测量机台的GRR，达标后方可使用。 B. 四探针异常处理流程 在有计划的机台维护时（更换探头，测量模块等），维护前需分别测量二级标片和两组正常片，维护结束后，用标准模块校准，再次测量二级标片和两组正常片；维护前后测量偏差标片在1ohm以内，正常片均值在0.5ohm以内时，可以正常使用。 在无计划的机台维护时（机台突然异常），维护后需用标准模块校准，并测量二级标片和正常片，并在同一测量标准下进行横向对比，两台四探针的测量偏差应与之前测量对比结果一致，偏差值在0.5ohm以内。 在四探针突然出现测量值整体偏高或偏低时，应立即停用四探针，并通知质量工程师进行校准，校准后测量二级标片和正常片，并在同一测量标准下进行横向对比，两台四探针的测量偏差应与之前测量对比结果一致，偏差值在0.5ohm以内。停机1小时以上时需上报主管。 3.3 方阻控制与扩散后硅片方阻异常分析处理 A.规格定义： 多晶V02工艺50Ω≤单点Rs≤70Ω52Ω≤单点Rs≤68Ω55Ω≤单片Rs≤65Ω57Ω≤单片Rs≤63Ω57Ω≤单组Rs≤63Ω58.5Ω≤单组Rs≤61.5Ω多晶SE工艺35Ω≤单组Rs≤55Ω37Ω≤单点Rs≤53Ω40Ω≤单片Rs≤50Ω41Ω≤单片Rs≤49Ω42Ω≤单组Rs≤48Ω43.5Ω≤单组Rs≤46.5ΩB. 异常定义： OOS：一点或多于一点阻值超出SPEC范围； OOC：单组、单片或