金属研究方法 第一讲 - 扫描电子显微镜SEM.pptVIP

材料学中常用的分析方法Instrumental Analysis in Materials Science 北京科技大学材料科学学院 唐伟忠 Tel: 6233 4144 E-mail: wztang@ 课程的主要内容 第一讲 扫描电子显微镜/电子探针 第二讲 俄歇电子能谱/x-射线光电子能谱 第三讲 二次离子质谱（离子探针） 第四讲 卢瑟福背散射谱/弹性反冲谱 第五讲 扫描探针显微镜 第六讲 场离子显微镜/原子探针 第七讲 核子显微镜 第八讲 聚焦离子束技术 课程的主要内容 第九讲 硬质合金材料研究 第十讲 高温合金材料研究 第十一讲 固体氧化物燃料电池材料研究 第十二讲 金属材料的腐蚀、氧化与防护 参 考 书 目 马如璋等，材料物理现代研究方法．冶金工业出版社，1997. R.E.Whan et al, Materials Characterization, Metals Handbook，Vol.10, 9th Edition, ASM, 1986. D.B.Williams et al, Transmission Electron microscopy, Plenum Press, NY, 1996. D.Brune et al, Surface Characterization, Wiley-VCH, 1997. J.B.Wachtman, Characterization of Materials, Butterworth-Heinemann, 1993. 各讲所附的参考文献 讲义的参考材料 考试内容及考试形式 第一讲 扫描电子显微镜（电子探针微区 分析技术） x-射线能量色散谱（能谱） x-射线波长色散谱（波谱） 电子背散射衍射技术 SEM (EPMA) / EDX (EDS) / WDX (WDS) / EBSD 光学显微镜的不足之处 分辨率的局限性： ?0.2?m （可见光 (0.4-0.8?m) 照明情况下） ? 放大倍数存在极限： ? 2000 ? 景深的局限性： （要求金相样品制备）  ?0.1?m 不能分析化学成分 扫描电子显微镜解决问题的方法 用波长更短的电子束作为光源 (25kV时，电子 波长?=0.007nm )，分辨率可达 5nm，放大倍数 10-100000 ? 扫描方式导致长物距效应? 数十 ?m （1000 ? 时） 不再要求金相样品制备过程 以电子束诱发各元素原子的内层电子跃迁，产生 一定波长的特征X-射线，测量其能量或波长分布，测量出元素含量，将微区图象分析与成分分析相结合 荷兰FEI公司的Sirion扫描电子显微镜 日本电子的JSM-6700F扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的结构示意图 扫描电子显微镜的扫描成象方式 扫描电子显微镜探测的三种主要分析模式 电子：二次电子(SE) 背散射电子(BE) x-射线： 特征x-射线 其他物理信号 如样品电流、电子磁场偏转、通道花样、感生电流、阴极荧光等 三种主要的被分析信号 高能电子束在进入金刚石后的能量损失 SEM中的成分分析功能： 能谱与波谱技术它获得的基本信息： 材料的成分分布  微区成分 线成分分布 面成分分布 电子束引发产生的特征x-射线 特征x-射线谱的标定规则 特征x-射线能量与原子序数的对应关系 x-射线能谱(EDX)：探测x-射线的Si探测器 Cu - Ti合金的x-射线能谱 超薄窗口获得的Al-Si合金的x-射线能谱 同时, 轻原子的特征x-射线的相对产额小 （与俄歇过程互为排斥） x-射线波谱(WDX)：探测x-射线的波谱仪 能谱/波谱方法的比较 能谱 / 波谱方法特点的比较 SEM可形成的图象： 二次电子与背散射电子象它获得的基本信息：  材料表面的微观形貌和成分分布信息  扫描电子显微镜图象的产生： 电子束诱发产生的电子谱 各种电子产额随原子序数的变化 二次电子像的衬度机制——拓扑衬度 电子逃逸深度的概念 电子的逃逸深度与电子能量的关系 三种主要的被分析信号 SEM的应用：比光学显微镜分辨率更高 SEM的应用：结构分析与成分分析