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静电控制作业规范
一、目的:
1.1、减少或消除静电放电对电子产品的损伤,提高产品质量和生产效率。
1.2、通过建立有效的高质量的管理稽核程序,来保证各项防静电措施的有效执行。
二、范围:
2.1、适用于涉及静电敏感器件、组件或产品的生产、加工、测试、内部周转、包装、存储各环节。
2.2、适用于公司及其厂商的生产制造体系的静电防护工程的设计、使用、维护、检查、管理工作。
三、特殊定义
本文件所用到的静电方面的术语和定义参照《ESD ADV1.0-1994》
四、职责
4.1、生产现场防静电设计及验收:由工艺部门负责生产现场的防静电设计,由供应链管理部组织相关人员验收;
4.2、防静电工具、用品及测试仪器:工艺部门负责防静电工具、用品及测试仪器的认证、实施、维护并完成ESD仪器作业指导书的编写;
4.3、防静电周转工具:由工艺部门负责认证、维护;
4.4、防静电测试:由工艺部门组织定期的ESD稽核测试(台垫测试、地板测试、周转箱测试、包材测试等);
4.5、防静电包材质量控制:
原材料来料包材的防静电规格及生产用防静电包装材料的防静电性能指标由事业部提出;
新型防静电包装材料的使用必须经过工艺部门的认证。
五、规范内容
5.1、ESD敏感分类
5.1.1、静电敏感等级的划分
技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括:ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻等的过电流引起。电压敏感器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级,逐渐发展了三种测试模型,分为人体模型(HBM))
等级 电压范围 0级 250V 1A级 250V~500V(不含500V) 1B级 500V~1000V(不含1000V) 1C级 1000V~2000V(不含2000V) 2级 2000V~4000V(不含4000V) 3A级 4000V~8000V(不含8000V) 3B级 8000V~16000V(不含16000V) 非静电敏感器件 ≥16000V 5.1.2.2、MM模式静电敏感等级的划分
器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析(带电金属和器件接触放电),静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为下列等级:
等级 电压范围 M1级 100V M2级 100V~200V(不含200V) M3级 200V~400V(不含400V) M4级 ≥400V
5.1.2.3、CDM模式静电敏感等级的划分
等级 电压范围 C1 125V C2 125V~250V(不含250V) C3 250V~500V(不含500V) C4 500V~1000V(不含1000V) C5 1000V~1500V(不含1500V) C6 1500V~2000V(不含2000V) C7 ≥2000V
静电敏感器件等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析,静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为下列等级:
5.2、静电防护区(EPA)
在通常的电子设备生产、组装和维护现场,各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象,这些静电产生材料和由其所产生的电场都有可能导致静电敏感器件的损伤。因此,在静电敏感器件的整个使用过程中都要对其进行防护。
在静电敏感器件的存储和转运过程中,具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护,但是,对于静电敏感器件也还存在着一个屏蔽容器外的操作,在这种情况下,静电敏感器件非常容易受到损伤,因此必须提供一个安全的工作区域。防静电工作区(EPA)正是为此设计的。为了确保防静电工作区的防静电安全,它必须满足下列要求:
防静电区域内的所有电子元器件都被视为静电敏感器件对待;
对于任何在保护状态之外(处于法拉第笼之外)的静电敏感器件的操作,都必须在防静电工作区内进行;
在防静电工作区之间的非防静电区域内传递的静电敏感器件必须处于安全的保护状态;
防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触仪器、设备的金属外壳;
防静电工作区内禁止放置个人工作不必须的静电产生材料,如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、笔记本、纸片、个人用品等物品,这些物品必须距离敏感器件30厘米以上;
所有在工作台上使用的清洁剂,溶剂,涂覆材料、气雾剂等辅助材料的使用都必须通过静电控制负责人的批准;
5.2.1 EPA区域的划分
防静电区域的划分应以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则,只要有可能出现静电敏感物品就应定义为防静电区,否则定义为非防静电区。
目前我司的防静电区定义
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