HXDRF85单晶炉电气控制系统的说明书.docVIP

使用须知 本说明书专为HX-DRF-85型单晶炉的用户所编写，要熟悉操作HX-DRF-85单晶炉，除了本使用手册外，用户还应熟知HX-DRF-85单晶炉的机械使用说明书。 对于说明书中没有涉及到的问题或应用户要求专门设计的使用细节，用户应以我们提供的电气图纸资料及培训资料为准。 本说明书只对公开的用户须知部分进行描述，对于用户拉晶工艺参数的特殊要求，我们负责对用户的拉晶工艺参数保密，而不在使用说明书中描述详细的工艺参数及细节。 本手册的所有版权归所有。其全部或者部分文档或附加的软件，在没有的书面允诺之前不得以任何形式复制或者拷贝。 1 概述·控制系统的特点 1 2 控制系统组成及功能说明 2 2.1 单晶炉电气控制系统组成 2 2.2 单晶炉电气控制系统功能说明 2 2.2.1 HX-ADC晶体生长控制柜 2 2.2.2 HX-P190-0600或HX-P190-1211加热功率柜 6 2.2.3 其它控制部分 6 3 HX-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 8 3.1 安装及接线 8 3.1.1 供电电源 8 3.1.2 HX-ADC控制柜接线说明 8 3.1.3 功率柜接线说明 9 3.2 系统调试 9 3.2.1 速度系统的调试 9 3.2.2 温度控制系统调试 17 4 电气部分常见问题分析处理 26 4.1 速度系统常见故障及处理 26 4.1.1 直流电机调速系统 26 4.1.2 交流电机调速系统： 27 4.2 控温系统常见故障及处理 27 4.2.1 加热电源柜调试中常见故障 27 4.2.2 系统投入自动后常见故障 29 4.2.3 加热过程中，频繁出现“过流” 29  概述·控制系统的特点 HX-ADC单晶炉电气控制系统是西安恒新自动控制有限公司集多年单晶炉控制经验之大成，为提拉式单晶炉研制的新一代全自动单晶炉电气控制系统，可满足大直径单晶炉的电气控制要求。 系统的主要特点如下： 电气控制柜采用多种当代单晶炉控制新技术，实现单晶生长过程自动控制。控制单元采用世界名牌企业的模块化元件，系统结构简单，运行稳定可靠，维修方便。 中央控制系统采用一体化工业控制机及触摸式屏幕显示，人机界面HMI采用15触摸屏，拉晶工艺全过程直观显示，操作简单明了，画面美观。 系统输入输出控制单元采用可编程序控制系统PCC，系统结构先进，可靠性高。 柜内低压电器选用世界名牌产品，可靠性高。 控制柜供电电源采用隔离变压器及电源滤波器，适用于恶劣供电环境。 配套有IRCON 或CCD直径测量装置（可选），如选用CCD测径方式，晶体生长过程可实现引晶、放肩、收肩、等径生长、收尾的全过程自动控制。 控制柜设计预留机架式UPS电源接口，安装UPS电源后，可减少由于意外停电而造成的损失。 出厂软件可由用户选择为英文版或中文版软件版本。 在拉晶过程中还提供多种保护及报警功能。 氩气流量有质量流量计（MFC）控制（可选），炉室压力信号由PCC直接测量，控制计算机直接显示炉内压力。 控制计算机自动记录单晶炉运行过程中的拉晶工艺参数。 加热温度由PCC温度专用模块控制，温度控制快速精确，可靠性高。 速度系统采用专业生产厂家的驱动模块，并与世界知名品牌的伺服电机相连，速度系统运行稳定，可靠性高。 加热功率电源采用6脉波或12脉波可控硅直流电源，触发控制采用数字式触发器。12脉波电源柜内安装有LC元件，电源功率因数高，谐波分量小。 主室泵抽气阀门开度电动控制（可选）。 控制系统组成及功能说明 单晶炉电气控制系统组成 HX-ADC单晶炉电气控制系统由三部分组成： HX-ADC晶体生长控制柜。 HX-P190-0600或加热HX-P190-1211功率柜。 其它控制部分。 单晶炉电气控制系统功能说明 HX-ADC晶体生长控制柜 HX-ADC晶体生长控制柜是单晶炉电气控制系统的核心部分，主要有以下几部分组成： 一体化工业控制机（PC）。 高可靠的可编程序控制器（PCC）。 HX-DRF-0701多功能控制单机。 两套直流电机驱动器，分别控制晶升、埚升速度系统。 两套交流电机驱动器，分别控制晶转、埚转速度系统。 柜内电源变压器及系统控制电源。 柜内接触器、继电器、操作按键、接线端子等低压电器。 备用机架式UPS电源接口。 控制柜操作面板。 液压升降控制及主泵付泵控制。 其主要控制元件的功能为： HX-DRF-0701多功能控制单机 HX-DRF-0701控制单机的内部安装了7块控制板，其功能如下表所列： 序号 型号 名称 功能 1 HX-SLD702 晶升驱动板 晶升速度及晶升快速控制 2 HX-CLD702 埚升驱动板 埚升速度及埚升快速控制 3 HX-REL701 继电器板 继电器输出模块 4 HX-P702 双24V电源板