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第二章 传感理论基础 2.1 传感器涉及的基础理论 2.2 自然规律与传感器 2.3 传感器的基础效应 2.4 传感器的新型敏感材料 2.1 传感器涉及的基础理论 1.传感技术正在成为多学科交汇点 2. 自然规律是传感技术的理论依据 自然界普遍适用的自然规律; 物质相互作用的效应原理; 实现效应的功能材料; 相关技术学科的前沿技术。 2.2 自然规律与传感器 2.2.1 守恒定律 2.2.2 场的定律 2.2.3 物质定律 2.2.4 统计物理学法则 2.2.1 守恒定律 伯努利方程(关于密封管路中无粘性流体流动的能量守恒定律):流体在忽略粘性损失的流动中,流线上任意两点的压力势能、动能与位势能之和保持不变。 2.2.1 守恒定律 皮托管:1732年由法国工程师皮托首创,至今仍是测量流速的常用仪器。皮托管是用来测量运动流体内任一点流速的仪器。 2.2.2 场的定律 法拉第首先提出了磁力线、电力线的概念,在研究中进一步深化和发展了力线思想,并第一次提出场的思想,建立了电场、磁场的概念。 2.2.2 场的定律 所谓物理场是指某一空间范围及其各种事物分布状况的总称。 场的定律,一般可用物理方程给出。 这些方程就是某些传感器工作的数学模型,而与这些定律有关的参数通常与具体物质的内部结构(如成分、材料)无关,与物质在空间的位置及分布状态与某时刻的作用有关。 2.2.2 场的定律 电磁感应定律指出:导体回路中感应电动势的大小与穿过回路的磁通量的变化率成正比。 当线圈以速度v垂直于磁场运动时,由于切割磁力线,在线圈中产生与运动速度成正比的感应电动势: 自感式传感器、互感式传感器、感应同步器和电涡流式传感器等,可用来测量位移、运动速度、振动等多种物理量。 2.2.2 场的定律 利用静电场的有关定律制成电容传感器。静电场中两平行电极板间的电容量C为: 两极板相对移动Δδ时,C的变化量: 2.2.2 场的定律 利用场的定律构成的传感器,其性能由定律决定,与使用材料无关。 这类传感器的形状、尺寸等参数决定了传感器的量程、灵敏度等性能,因此这类传感器统称为结构型传感器。 它们具有设计的自由度较大、选择材料的限制较小等优点,但体积一般较大,并且不易集成。 2.2.3 物质定律 物质定律是指各种物质本身内在性质的定律、法则、规律等。它们通常以固有的物理常数加以描述。 利用各种物质定律构成的传感器统称为物性型传感器。这些传感器的主要性能在很大程度上受相应的物理常数或化学、生物特性所决定,也即与物质的材料密切相关。 2.2.3 物质定律 利用半导体物质具有的压阻、热阻、光阻、湿阻和霍尔等效应,可以分别制成力、压力、温度、光强、湿度和磁场等传感器; 利用压电材料所具有的压电效应可制成压电式、声表面波和超声波等传感器; 利用生物、化学敏感特性制成的生物、化学传感器等。 霍尔(Hall)效应 当电流垂直于外磁场的方向通过导体或半导体薄片时,在薄片垂直于电流和磁场方向的两侧表面之间产生电位差的现象,称为霍尔效应。 2.2.3 物质定律 由于利用物质定律的物性型传感器具有构造简单、体积小、无可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性好、易集成等特点,因此是当代传感技术领域中具有广阔发展前景的传感器。 2.3 传感器的基础效应 物质效应与物性型传感器 光电效应 电光效应 磁光效应 磁电效应 热电效应和热释电效应 压电、压阻和磁致伸缩效应 约瑟夫逊效应与核磁共振 光的多普勒效应和萨古纳克效应 声音的多普勒效应及声电、声光效应 与化学有关的效应 纳米效应 2.3.3 电光效应 物质的光学特性(如折射率)受外电场的影响而发生变化的现象统称为电光效应。 泡克耳斯(Pockels)效应 克尔效应 光弹效应 电致发光效应 电致变色效应 一、泡克耳斯效应 1893年德国物理学家泡克耳斯首先发现,一些晶体在纵向电场(电场方向与光的传播方向一致)作用下会改变其各向异性性质,产生附加的双折射现象,称为电致双折射。 泡克耳斯从实验证实压电晶体的两个主折射率之差为: 线性电光效应 二、克尔效应 1875年英国物理学家克尔发现,光照射具有各向同性的透明物质,在与入射光垂直的方向上加以高电压将发生双折射现象。 因两个主折射率之差正比于电场强度的平方,故这种效应又称作平方电光效应。 三、光弹效应 某些非晶体物质(如塑料、玻璃)在机械力的作用下,弹性体的折射率发生变化,呈现双折射性质的效应。这称作应力致双折射或光弹效应。 利用光弹效应可制成压力、振动、声响传感器。 四、电致发光效应 电致发光效应:某些固态晶体如
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