扩散理论与操作.pptx

1;目录;3;生产太阳能电池基本流程;设备的基本构造;6;扩散的目的;在硅片周围包围着许许多多的磷的分子，因此磷原子能从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散。在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始P型的， 这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。----这就是所说的扩散 ;;扩散的原理;生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 总的反应方程式为： POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散 。;生产准备;扩散的生产流程;上片 左手大拇指和食指捏住同一格位的片子,向上提起,右手捏拿出片子???另一边,将片子平行石英舟槽插入石英舟。 插片时要平行石英舟卡槽，硅片统一向石英舟尾部倾斜，如一批数量为单数，用干净假片补足；检查每两片是否重叠没有缝隙 ;上舟时要先转头后转身,石英舟高度要一致， 硅片倾斜方向必须统一朝管尾；石英舟放置位置必须准确无误;待冷却后，等间距抽取5片单片, 到四探针测试仪上测试方块电阻，并进行记录，方块电阻的范围为45-55 Ω，如果不在范围立刻通知工艺人员影响扩散的因素： 扩散的时间 扩散的温度 扩散炉管内气体的浓度;卸片时.片盒需放缓冲泡沫垫,每次取两片,拿硅片中间垂直将片子插入片盒内，注意扩散面一定要朝向片盒有扩散面标识的一面。;将片子传给下道一个批次放在同一推车上,往传递窗里放时,注意两边的窗门不能同时打开,防止片盒掉落。;三氯氧磷;三氯氧磷;三氯氧磷;三氯氧磷;注意事项;24