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三、表面结构分析技术 晶体结构分析：是指分析晶体中原子的排列、点阵类型、晶胞大小、原子数目、原子位置及点阵应变、点阵缺陷。 表面吸附、偏析、化学反应、表面加工处理等都会引起材料表面结构的变化。 三、表面结构分析技术 一般分析区别的尺寸为： 1.宏观尺寸(即毫米级)：采用X射线和中子衍射等方法测定晶体结构； 2.微观的表面结构分析经常用电子衍射法。 三、表面结构分析技术 三、表面结构分析技术 X射线衍射仪(XRD) 物质结构分析最常用的方法是X射线衍射分析，它是基于X射线在晶体中的衍射现象，遵守布拉格(Bragg)定律进行分析的。 2dsinθ＝λd 式中，d为晶面间距；θ为入射X射线与晶面之间的夹角；λ为入射x射线的波长；n为衍射指数。 三、表面结构分析技术 用X射线分析已知化学组成物质的晶体结构时，可由X射线衍射峰的θ值，求出晶面间距，对照ASTM卡片，分析出被测物质的晶体结构。 叶轮盘片内表面腐蚀产物的X射线物相分析 一、表面外观检测 1 表面粗糙度 11.3 表面测试 表面粗糙度是指表面微观不平度高度的算术平均值。 粗糙度的高低，不仅影响表面的质量、还影响其耐腐蚀、耐摩擦磨损性、产品的精度及服役时动力的消耗、噪声等，在薄膜制备技术中，还影响薄膜结构和性能。 DSC 热分析仪 一、表面外观检测 2 表面光泽度的检验 11.3 表面测试 一、表面外观检测 2 表面光泽度的检验 11.3 表面测试 表面的光泽度(又称光亮度)是装饰性要求较高的产品必须测量的指标。 表面光泽度是指在一定照度和角度的入射光的作用下，表面反射光的比率或强度，反射光的比率或强度越 大，表面光泽度越高。表面光泽度的检验方法主要有以下几种： 目测评定法、样板对照法、光度计测量 二、表面物理性能测试 1 膜厚的测试……． 2 耐热性能测试…． 3 绝缘性能测试…． 二、表面物理性能测试 1 膜（覆盖层）厚度的检测 表面覆盖层厚度对产品的使用性能和使用寿命影响极大，因而，覆盖层厚度的检测对所有经表面技术制备的产品都是必须的。 由于众多覆盖层的厚度范围很大，从纳米尺度的气相沉积、离子注入层至毫米级的热喷涂层、堆焊层、渗碳层等，故不同厚度的测量也有许多不同方法，这些方法均是利用不同的原理测出不同尺度范围的表面覆盖层的厚度。 覆层厚度的测量，根据其测量原理分为机械法、物理法、化学与电化学法、射线法、光学法等。 按被测覆层是否损坏又可分为有损测厚和无损测厚两大类。 三、表面机械性能测试 1 表面硬度的测试 2 结合强度的测试 3 表层残余应力的测量 4 耐磨性能试验 11.3 表面测试 1.表面硬度的测试 覆盖层硬度的检测 硬度是材料力学性能中最常用的性能指标之一，同样也是衡量材料覆盖层重要的性能指标之一，是表征材料(或覆盖层)在表面局部体积内抵抗变形或破裂的能力。 11.3 表面测试 硬度是被测材料(或覆盖层)在一定压头和力的作用下的弹性、塑性、塑性变形、强化率、强度以及摩擦性能等的综合性能的体现。 硬度的检测能敏感地反映覆盖层在化学成分、组织结构、表面状态及处理工艺上的差异，而且检测迅速，又较经济，因而被广泛地应用于工艺研究的过程中和产品的质量检验。 硬度检测方法有很多种，如布氏硬度、洛氏硬度、维氏硬度、显微硬度、肖氏硬度及里氏硬度等。 测试方法的不同其物理含义也不同。对于覆盖层而言，由于其厚度的限制， 11.3 表面测试 显微硬度(维氏显微硬度、努氏显微硬度)测试法 维氏硬度测试法 纳米压痕硬度测试法 表面洛氏硬度测试法 适宜采用的测试方法 2. 覆盖层结合(附着)力的检测 覆盖层的结合力是指层与基体(或中间层)之间的粘结强度，即单位表面积的覆层从基体(或中间层)上剥离下来所需要的力，单位面积上的结合力称结合强度。结合力(或结合强度)是评价覆层质量的一个重要指标，也是判断覆层能否应用的最基本性能。 11.3 表面测试 评定和检测覆盖层结合力的方法很多，可分为定性和定量两类检测方法。 覆盖层结合力的定性检测 11.3 表面测试 (1)摩擦抛光试验 (2)钢球摩擦抛光试验 (3)划线和划格试验 (4)锉、磨、锯试验 (5)弯曲、缠绕、环突(深引)试验 (6)热震试验 利用覆层与基体材料热膨胀系数的差异，将试样放入150—300℃的烘箱中加热30min，取出后浸入室温的水中骤冷，在放大8倍或4倍(并具有照明)的观察器下检查覆层是否起泡或剥离等现象。 (7)阴极试验 将覆层的试件在溶液中作为阴极，在阴极上仅有氢析出，由于氢气通过一定覆盖层进行扩散时，在覆层与基体之间的任何不连续处积累产生压力，致使覆层发