偏振光探测薄膜的光学性质.pptVIP

偏振光探测薄膜的光学性质 张玉妹 指导老师：邢进华 二、激光椭偏技术原理 将一束波长为 的自然光经起偏器变成线偏振光，再经1/4波片使它变成椭圆偏振光入射到待测样品的膜面上，反射时，光的偏振状态（振幅和相位的改变）将发生变化，通过检测这种变化，便可推算出待测膜的厚度和折射率。 * * 在近代科学技术的许多领域，尤其是在集成光学和光子器件中，对各种薄膜的研究和应用日益广泛。这些应用的前提是必须了解薄膜的光学性质，特别是折射率和厚度。在薄膜折射率和厚度的测量技术上已经有许多成熟的技术，比如布儒斯特角法，其特点是简便，但精度小；干涉技术，它能实时测量，但仪器复杂；透射谱线法，能同时测得薄膜厚度和折射率，但对薄膜和基底折射率有特殊的要求。 一、论文的背景和意义： 本课题是在这些研究的基础上寻找突破，采用了改进的激光椭圆偏振技术，在测量薄膜厚度和折射率上精度分别达到1nm和0.001，折射率精度比一般的干涉法高一个数量级，并且是非破坏性测量。 实验主要是以改进的分光计为平台，从而在原有椭圆偏振法基础上的创新和提高。 如图1所示。半导体激光器发出的单色光，经起偏器后变成线偏振光，线偏振光再经1/4波片后产生 的位相差，变成椭圆偏振光。对一定厚度的某种薄膜，S分量和P分量之间出现相移之差，当入射光为椭圆偏振光时，通过薄膜以后反射光为线偏振光。 薄膜 激光光源 起偏器 基底 白屏目镜 检偏器 图7 椭偏仪测试系统原理 玻片 由此可见，由起偏器的方位角P可确定偏振光的P分量和S分量的相移之差。经样品反射后由于S波与P波不存在位相差，可合成特定方向的线偏振光。它的偏振方向由S分量和P分量的反射系数和确定。 转动检偏器的方位角，当检偏器的方位角A与反射光线的偏振方向垂直时，光束不能通过，出现消光状态。 由于P波和S波的位相差是由1/4波片产生的，在测量中为了更好的消除误差我们采用四点测量法。即当1/4波片与光轴成角为+45 时，测量两组A值与P值( A1、P1)、(A2、P2)；当1/4波片与光轴成角为 时，再测量两组A值与P值(A3、P3)、(A4、P4 )。 将测得的4组数据代入公式换算后取平均值，就得到所要求的A值和P值。（数据处理使用仪器所配套的软件 ）。 三、实验过程 1、采用溶胶-凝胶技术制备薄膜样品。 2、仪器介绍及调整 本实验采用浙江光学仪器制造有限公司制造的仪器JJY分光计（包括附件）一台，与之相配套的椭偏装置（WJZ—Ⅱ）一套，包括半导体激光器连电源，起偏器和检偏器读数头，试样台，标准样板，半反目镜，光电探头，数字式检流计，校光片等。实验主要是在由JJY分光计适当改装而成的装置上进行。 实验装置的调整主要包括：分光计的调整 、光路准直调整 、检偏器读数头位置调整与固定 、起偏器读数头位置调整与固定 、1/4波片零位的调整等。 3、测量过程 （1）将被测样品，放在载物台的中央，旋转载物台使达到预定的入射角 ，即望远镜转过 ，并使反射光在目镜上形成一亮点。 （2）为了尽量减少系统误差，采用四点测量。先置1/4波片快轴于+ ，仔细调节检偏器A和起偏器P，使目镜内的亮点最暗（或检流计值最小），记下对应A值和P值，这样可以测得两组消光位置数值。 其中A值分别大于 和小于 ，分别定为（A1＞ ）和（A2＜ ），所对应的P值为P1和P2。然后将1/4波片快轴转到 ，也可找到两组消光位置数值，A值分别记为A3和A4，所对应的P值为P3和P4。 ? 4、数据处理与分析(单位：度） 24.6 84.7 131.3 92.3 64.6 81 152.9 92.8 P4 A4 P3 A3 P2 A2 P1 A1 代入换算公式后得： A（1）=2.8 P（1）=152.9 A（2）=9.0 P（2）=154.6 A（3）=2.3 P（3）=138.7 A（4）=5.3 P（4）=155.4 对A和P分别取平均得： A=4.85 P=150.4 *