ESD知識介紹-何勇.ppt

ESD 教育   何 勇  2008.12.10 靜電學簡介 静电学: 是十八世纪以前以库仑定律为基础建立起的以研究静止电荷及场作用规律的学科，是物理学中电磁学的一个重要组成部分。 静电工程学 系指从十九世纪初到现在形成的以静电学为基础而研究静电危害及其防护和静电应用技术的专门科学。其主要研究内容有静电应用技术如静电除尘、静电复印、静电生物效应等以及静电防护技术如电子工业、石油工业、兵器工业、纺织工业、橡胶工业以及航天与军事领域等防静电危害问题。 ESD介紹 静电放电(ＥＳＤ-- Electro Static Discharge) ESD问题是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热（火花）效应和电磁效应等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电的电磁场效应如电磁干扰（ＥＭＩ）及电磁兼容性（ＥＭＣ）问题越来越重视。 靜電產生的方式？！ 兩种絕緣性材料表面相互摩擦就會產生靜電. ESD防護材質分類 傳導性﹕表面電阻系數為103－105﹐表面相互摩擦不產生靜電﹐ 且具有電荷傳導性﹒通常用于靜電泄放所用的材質﹒ 消耗性﹕表面電阻系數為106－1011﹐表面相互摩擦不易產生靜電﹐ 用作包裝﹐如靜電袋﹐起抗靜電作用﹔用作手套﹑衣服﹐ 即當人体有靜電時可將靜電緩阻﹐防止瞬間放電﹐通常 用于減低靜電電荷所使用的材質 絕緣性﹕表面電阻系數等于或大于1012﹐﹒表面相互摩擦會產生 靜電﹐且不會消散﹐會聚集﹐在靜電防護中要避免使用 的材料﹒ ESD對電子元件危害 ESD可引起电子设备失灵或使其损坏。当半导体器件单独放置或装入电路模块时，即使没有加电，也可能造成这些器件的永久性损坏。 如果一个元件的两个针脚或更多针脚之间的电压超过元件介质的击穿强度，就会对元件造成损坏。这是MOS器件出现故障最主要的原因。氧化层越薄，则元件对静电放电的敏感性也越大。故障通常表现为元件本身对电源有一定阻值的短路现象。对于双极性元件，损坏一般发生在薄氧化层隔开的已进行金属喷镀的有源半导体区域，因此会产生泄漏严重的路径。 ESD對電子元件危害 另一种故障是由于节点的温度超过半导体硅的熔点（1415℃）时所引起的。静电放电脉冲的能量可以产生局部地方发热，因此出现这种机理的故障。即使电压低于介质的击穿电压，也会发生这种故障。一个典型的例子是，NPN型三极管发射极与基极间的击穿会使电流增益急剧降低。 器件受到静电放电的影响后，也可能不立即出现功能性的损坏。这些受到潜在损坏的元件通常被称为“跛脚”，一旦加以使用，将会对以后发生的静电放电或传导性瞬态表现出更大的敏感性。　　要密切注意元件在不易察觉的放电电压下发生的损坏，这一点非常重要。人体有感觉的静电放电电压在3000 — 5000V之间，然而，元件发生损坏时的电压仅几百伏。 ESD的防護注意事項 鑒于ESD的重要性﹐我們有必要在日常的生產中确實做好ESD的防護工作﹒ 1﹒每天檢查防靜電工作服清洁﹐無破損﹒ 2﹒進入靜電防護區前檢查靜電鞋﹑靜電手環﹐确保其良好 3﹒操作員在不直接接地的情況下,所有靜電敏感器件在有靜 電保護的容器中或無靜電防護包裝時,操作員都必須載防靜 電手套或無線靜電環. 4﹒所有靜電敏感器件都應在防靜電容器中貯放,禁止在靜電 敏感區將其取出或對產品進行拆裝. 5﹒靜電敏感區域禁止放置塑料類絕緣材料或用具﹐對于由于 ESD的防護注意事項 沒有替代品而必須使用的該類性質的材料或用具,如計算器﹑金 線料盒等﹐必須採取隔離﹑獨立放置﹑噴涂抗靜電劑或架設離子 風機等手段﹐如金線料盒用單獨專用的防潮箱存放﹑計算器用防