基于回音壁模式的微盘谐振腔生物传感特性分析.docx

摘 要随着近年来光学传感技术的发展，无标记光学生物传感器因其具有无需荧光 标记、灵敏度高、结构紧凑、集成成本低等优点，逐渐成为光学传感研究的主流。 本文旨在实现高性能的无标记光学生物传感器，设计了一种基于回音壁模式的微 盘形光学生物传感结构，然后对其生物传感特性进行了深入研究分析，并设计出 一种新型的微流体递送通道。本论文的工作从以下几个方面展开：首先，利用 FDTD 方法设计了一种基于回音壁模式的微盘谐振腔传感结构。 并优化实现了较高的传感性能。在此基础上，提出了两种对称和非对称的缺陷微 盘谐振腔结构，研究了缺陷尺寸和缺陷位置对微盘各阶谐振模式的影响。随后分 析了微盘边缘粗糙损耗对谐振模式的影响，通过 FDTD 仿真，观察到了谐振模式 的分裂。接着对微盘与直波导的耦合器进行研究，分析了波导耦合理论，研究了 波导曲率与耦合系数的关系。本文还提出了两种新型内嵌微盘结构的谐振腔模型， 并以此实现了对工作波长的筛选。其次，从表面分子吸附和体折射率传感的角度，实现了对回音壁微盘生物传 感特性的分析。详细剖析了折射率传感原理，具体研究了折射率传感的两种形式： 体折射率传感和表面吸附传感。通过体折射率传感的 FDTD 仿真，确定了最佳传 感波长、计算出了微盘传感器的灵敏度和探测极限。在表面传感分析中，详细阐 述了微盘表面的分子吸附原理，并基于 Comsol 对表面分子吸附进行了仿真研究， 实现了生物传感中分子吸附与淬灭的反应过程。通过对表面吸附传感响应的仿真， 探测到了分子层级别的折射率扰动，有效验证了微盘传感器生物传感性能。最后，为了消除外部干扰，设计了一种差分双微盘结构的传感器。从干扰来 源考虑，将两个参考盘和传感盘在单直波导上级联，以达到消除共模干扰信号的 目的。基于 FDTD 法对差分双微盘进行传感仿真，得出了消除干扰的差分修正量。 并对微盘传感器的灵敏度进行了差分修正。接着利用有限元法，仿真了差分双盘 表面的分子吸附作用。并对表面分子吸附的传感响应进行了差分修正。此外，为了探究流体通道集成的微盘传感器，设计了一种可供待测液传递的 X 形微通道结构。分析了待测液体的对流理论，并对通道内的待测液流动以及分子 浓度扩散过程进行了仿真分析，得到了集成流体通道设计的优化参数，最后，提 出了微盘传感器和 X 形流体通道集成阵列的构想，为后续工作做好铺垫。关键词：无标记生物传感器，回音壁模式，微盘传感特性，差分传感，流体通道ABSTRACTRecently, with the development of optical sensing technology, label-free optical biosensor is becoming mainstream of optical sensing research, because of its special advantages of dispensation from fluorescent labeling, high sensitivity, compact structure and low cost in integration. This article aims to achieve high-performance optical label-free biosensor, we have designed a microdisk-shaped optical biosensor which is based on whispering gallery mode, and carried out research and analysis of its biological sensing properties. This paper mainly includes the following several aspects:Firstly, we design a microdisk resonator sensor which is based on whispering gallery mode by using FDTD method. On this basis, we propose two symmetric and asymmetric defect microdisk resonator structure, by FDTD simulation, the influence of microdisk rough edges Loss on resonant modes is analyzed. Then, we also studied the relationship between the curvature of the waveguide