机械工程测试技术 知识基础第四章 常用传感器与敏感元件.ppt

* 丝式应变片：把一根直径为0.025mm、高电阻率的康铜丝绕成栅形，粘贴在绝缘的基片与盖层之间。右引线接后续电路。利用光刻腐蚀的方法，将箔材制成各种形状的图形。薄膜应变片是用薄膜技术制成的应变片，其灵敏度高，易实现工业化生产，是一种很有前途的新型应变片。 * 半导体应变片的最突出优点是灵敏度大，可达60～150，能直接与记录仪器连接而不需放大器，使测量系统简化。此外，其横向效应小，机械滞后小，体积小。其缺点是电阻值和灵敏度的温度稳定性差；当应变较大时，非线性严重；由于受晶向、杂志等因素影响，灵敏度分散度大。 * 上式的推导也可以直接对R=?l/A进行微分获得。dR=[A(?dl+ld?)- ?ldA]/A2。半导体应变片是利用半导体电阻率的变化引起电阻的变化。常用的金属电阻丝的材料是德银、铬镍合金以及铁镍合金等。 * 电阻应变片必须被粘在试件或弹性元件上才能工作。粘合剂和粘合技术对测量结果有直接影响。 * 后一页显示的是柱式力传感器的应用场合。 * 传感元件的材料有铂电阻和铜电阻。 * 热敏电阻传感器的传感元件是热敏电阻。热敏电阻是一种当温度变化时电阻值能呈现敏感变化的元件，它由金属氧化物如锰、镍、钴、铁、铜等粉料按一定配方压制成型，经过1000℃～1500℃高温烧结而成，其引出线一般是银线。 * 所谓还原性气体就是在化学反应中能给出电子，化学价升高的气体。多数属于可燃性气体，例如石油蒸气、酒精蒸气、甲烷、乙烷、煤气、天然气、氢气等。 * 光敏电阻传感器：有些半导体材料（如硫化镉），在黑暗的环境下它的电阻非常高。但当受到光照射时，其电阻值就显著下降。湿敏电阻传感器：一种检测空气湿度（水分）的传感器。它能将湿度的变化转换成电阻的变化。有些氧化物，主要是金属氧化物（如氧化锂），当湿度变化时，会引起其电阻的变化。 * 极距变化型电容传感器、面积变化型电容传感器和介质变化型电容传感器。 * 间隙越小，灵敏度越高；但当灵敏度提高时，非线性误差也增大。应用：测量位移及一切能转换为位移的物理参数，其特点是非接触式测量，因而对被测量影响小，灵敏度高。 * 差动式电容传感器的中间可移动的电容器极板分别与两边固定的电容器极板形成两个电容C1和C2，当中间极板向一边移动时，其中一个电容器C1的电容因间隙增大而减小；而另一个则增大。 * 当动板沿x方向移动时，相互覆盖的面积变化，电容量也随之改变。面积变化型电容传感器的优点是输出与输入成线性关系，但与极距变化型相比，灵敏度较低，适用于较大直线位移及角位移的测量。 * 被测参数使介电常数发生变化而引起传感器电容量的变化。电容串联：1/C=1/C1+1/C2；并联：C=C1+C2。水的介电常数为?＝81，该值远远大于其他材料的介电常数，因此某些绝缘材料的介电常数随含水量的增加而急剧变大，基于这一事实而用来作水分或湿度的测量。另外某些电介质是温度灵敏的，因此也可做成相应的电容值便可确定周围空气的相对湿度。a－极板的长度；b-极板的宽度；?、?x－平板形传感器的介质厚度和被测介质的厚度；?1、?2－平板形传感器的介质介电常数和被测介质的介电常数。 * 电容传感器将被测物理量转换为电容量的变化以后，由后续电路转换成电压、电流或频率信号。电桥电路：差动式电容传感器组成电桥的相邻两臂。直流极化电路：输出电压与膜片位移速度成正比。 * 谐振电路：当传感器电容Cx发生变化时，谐振回路的阻抗发生变化，并被转化成电压或电流输出。调频电路：传感器电容作为振荡器谐振回路的一部分。当被测量使电容值发生变化时，振荡器频率发生变化，其输出经限幅、鉴频和放大后变成电压输出。该电路优点是灵敏度高，可测0.01um的微小位移的变化。运算放大器电路可使输出电压与电容传感器间隙成线性关系。 * 寄生电容主要是由于电容传感器两极板引出线之间存在电位差所造成的。 * 纺织工艺要求纱条有一定的均匀度，纱条均匀测量仪中的传感器就是一个介质变化型电容传感器。测试时，纱条通过电容器两个极板间的间隙。若纱条不均匀，则图中的d值有变化。这个具有两层介质（一层是空气，一层是纱条）的电容器通过介电常数发生变化而使电容器的电容量发生变化，达到测试纱条均匀度的目的。电容式氢液高度传感器属于介质变化型电容传感器，当被测液面位置发生变化时，两电极的侵入高度也发生变化，引起电容量的变化。 * 电感传感器的敏感元件是电感线圈。 * 空气隙的磁阻、衔铁和铁芯的磁阻，但后者远小于前者。L：线圈的自感 * 由于δ不是常数，会产生非线性误差，因此这种传感器通常规定在较小气隙变化范围内工作。 * 实际应用中常将两个完全相同的电感传感器线圈与一个公用的活动衔铁结合在一起，构成差动式电感传感器。该传感器比单边式传感器的灵敏度提高一倍，其输出特性也改善许多。 * 这种传感器自由行程