NO3精密位移检测系统 《传感器与检测技术 知识》.ppt

;;;;;;;;;;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;;;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;;;;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;任务一 高精度位移传感器的应用;;;;;;;;;;实训一 认识电感式高精度位移传感器;实训一 认识电感式高精度位移传感器;实训一 认识电感式高精度位移传感器;;;;;;;;任务二 高精度激光位移传感器;任务二 高精度激光位移传感器;任务二 高精度激光位移传感器;任务二 高精度激光位移传感器;1.激光简介 激光（LASER）是上世纪60年代发明的一种光源。LASER是英文的“受激放射光放大”的首字母缩写。 若原子或分子等微观粒子具有高能级E2和低能级E1，在两能级间存在着自发发射跃迁、受激发射跃迁和受激吸收跃迁等三种过程。;受激发射跃迁所产生的受激发射光，与入射光具有相同的频率、相位、传播方向和偏振方向。因此，大量粒子在同一相干辐射场激发下产生的受激发射光是相干的。受激发射跃迁几率和受激吸收跃迁几率均正比于入射辐射场的单色能量密度。当两个能级的统计权重相等时，两种过程的几率相等。在热平衡情况下，所以受激吸收跃迁占优势，光通过物质时通常因受激吸收而衰减。外界能量的激励可以破坏热平衡,这种状态称为粒子数反转状态。在这种情况下，受激发射跃迁占优势。; 激光的特点在于：首先，激光是单色的，或者说是单频的。有一些激光器可以同时产生不同频率的激光，但是这些激光是互相隔离的，使用时也是分开的；其次，激光是相干光。相干光的特征是其所有的光波都是同步的，整束光就好像一个“波列”；再次，激光是高度集中的，也就是说它要走很长的一段距离才会出现分散或者收敛的现象。;激光器有很多种，尺寸大至几个足球场，小至一粒稻谷或盐粒。气体激光器有氦－氖激光器和氩激光器；固体激光器有红宝石激光器；半导体激光器有激光???极管，像CD机、DVD机和CD-ROM。 由于激光的种种特性，使得激光应用于传感器领域优势极大，如激光光斑极小，可以用来测量很微小的位移，激光对物体没有任何压力，因而也不存在弹性变形问题，所示可以认为激光可以“真实”测量等等。;;;;任务二 高精度激光位移传感器;长度测量是光学干涉测量最常见的应用之一。如要测量某样品的绝对长度，最简明的方法之一是通过干涉对产生的干涉条纹进行计数；若遇到非整数的干涉条纹情形，则可以通过不断成倍增加相干光的波长来获得更窄的干涉条纹，直到得到满意的测量精度为止。常见的方法还包括惠普公司研发的惠普干涉仪，它通过外加一个轴向磁场使氦－氖激光器工作在两个相近频率，从而发出频率相差2兆赫兹的两束激光，再通过偏振分束器使这两束激光产生外差干涉。; 长度测量的另一类情形是测量长度的变化，常见的方法如借助声光调制产生的外差干涉，差频信号所携带的相位差会被光检测器记录，从而得到长度的变化。在测量像熔凝石英这样热膨胀系数很低的材料的热膨胀系数时，还经常用到一种更精确的方法：将两面部分透射部分反射的玻璃板置于待测样品的两端，从而构成一个法布里－珀罗干涉仪。使用两束发生外差干涉的激光，并通过反馈将其中一束激光的频率锁定到法布里－珀罗干涉仪的一个透射峰值频率上。这样，当样品发生热膨胀而改变法布里－珀罗干涉仪的长度时，透射峰值频率的变化会引起被锁定的激光频率的相应变化，这一变化也会反映到外差信号中从而被探测到。;任务二 高精度激光位移传感器;1.光导纤维的构造和导光原理 光导纤维是用比头发丝还细的石英玻璃丝制成的，每一根光导纤维由一个圆柱形芯子、包层、保护套组成。;光经过不同介质的界面时要发生折射和反射。一束光从折射率为n1的介质以入射角α射向界面时，一部分透过界面进入折射率为n2的介质中，折射角为β；另一部分光从界面反射回来，反射角为α如图3-33所示。从折射定律知：n1sinα=n2sinβ。;任务二 高精度激光位移传感器;3.光纤传感器的工作原理 光纤传感器是一种将被测对象的状态转变为可测的光信号的传感器。光纤传感器的工作原理是将光源入射的光束经由光纤送入调制器，在调制器内与外界被测参数的相互作用，使光的光学性质如光的强度、波长、频率、相位、偏振态等发生变化，成为被调制的光信号，再经过光纤送入光电器件、经解调器后获得被测参数。整个过程中，光束经由光纤导入，通过调制器后再射出，其中光纤的作用首先是传输光束，其次是起到光调制器的作用。;任务二 高精度激光位移传感器;任务二 高精度激光位移传感器;任务二 高精度激光位移传感器;;实训二 高精度激