第14章 位移、速度、加速度测量 测试技术.ppt

6 测量位移 （2）汽轮机主轴的轴向窜动 量程：0 ～ 30mm 分辨率：0.1% （1）液位监控系统 水箱 旁通阀 省煤器 电感传感器 M 调节阀 控制器 输出 锅筒 电磁 线圈 玻璃 板液 位计 传感器 浮 球 离心水泵 7.自动连续给水控制装置 电容式传感器是以电容器为敏感元件，将被测非电量转化为电容量的变化，进而实现非电量到电量的转换。 电容元件 非电量 电容量变化 14.1.2 电容式位移测量系统 ★优点： ①高阻抗，小功率。 ②灵敏度高，具有较高的信噪比和系统稳定性。 ③良好的动态特性。 ④结构简单，适应性强。 ⑤可进行非接触测量。 ⑥本身发热影响小。 ★缺点： ①变间隙电容传感器非线性较严重。 ②输出阻抗很高。 ③寄生电容大 电容式传感器的特点 ★应用：可用于位移、压力、厚度、液位、湿度、振动、转速、流量的测量 。 1920-1925 电容传感器用于测量 70-80年代，应用广泛 集成电容传感器 电容式传感器的应用 在忽略边缘效应时，平板电容器的电容为 C —电容量； d —两平行极板间的距离； —介质的相对介电常数； —真空的介电常数， =8.85×10-12F/m； A —极板面积。 电容式传感器的工作原理 在进行非电量电测时，可把力、加速度、位移及转速等力学量转换成d、A或 的变化，从而转换成电容量的变化。 1)边缘效应产生的原因：电场均匀分布于两极板所围成的空间; 2)后果：边缘效应相当于传感器并联一个电容,引起传感器灵敏度下降和非线性增加。 3)消除边缘效应的方法： 应增大初始电容量，即可适当增大极板面积、减小极板间距。 也可采用等位环的方法 边缘效应： 电容式传感器分为三个类型，即变极距（d）型、变面积（A）型和变介电常数（ε）型。 电容式传感器的结构类型及主要特性 结构类型 1、基本工作原理 C —— 电容量，单位：F 法拉 —— 真空介电常数，8.85×10-12F/m —— 极板间介质的相对介电常数 A —— 极板的有效面积（m2） —— 两平行极板间的距离（m） 平板电容器 x 固定极板 可动极板 ? x 输出?C 0 x0 ? x ?C d C 图中一个电极板固定不动，称为固定极板，另一极板可左右移动，引起极板间距离 x 相应变化，从而引起电容量的变化。因此，只要测出电容变化量ΔC，便可测得极板间距的变化量，即动极板的位移量Δx。 变极距式电容传感器改成差动式，不仅非线性误差大大减少，灵敏度也可提高了一倍。 2. 变极距式电容传感器 3. 变面积式电容传感器 由两个电极板构成，一个固定极板，一个为可动极板，两极板均呈半圆形。假定极板间的电介质不变，当两极板完全正对时，其电容量C0为 电容式位移传感器 的位移测量范围为 1μm～10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%，变面积式电容传感器的分辨率可达0.3μm。 当可动极板绕轴转动一个?角时，两极板的对应面积要减少ΔA。则传感器的电容量就要减少ΔC，将电容量的变化检测出来，可实现角位移的测量。 变面积式电容传感器 ? 固定极板 可动电极 电容式传感器桥式电路 单臂接法 Usc Cx C1 C2 C3 Usr 差动接法 Usc C0+ΔC C0—ΔC Usr 4. 电容式传感器的测量电路 测量电路将电容量转换成电压、电流或频率信号。常用的测量电路有。 （1）桥式电路 （2）运算放大器电路 变极距型电容传感器的极距变化与电容量成非线性关系，这一缺点使电器传感器的应用受到一定限制，而采用运算放大器电路可得到输出电压与输入位移的线性关系。如图14-15所示，C0为固定电容，Cx为反馈电容且为电容式传感器。根据运算放大器的运算关系，有 Cx 运算放大器电路 C0 Usc k Usr 半导体光电位置敏感器件（position Sensitive Detector简称PSD）是一种对其感光面上入射光点位置敏感的光电器件，即当入射光点落在器件感光面的不同位置时，将对应输出不同的电信号，通过对此输出电信号的处理，即可确定入射光点在器件感光面上的位置。 PSD可分为一维和二维PSD。 14.1.4 光电位置敏感器件 线阵光位置传感器 面阵光位置传感器 二维面阵光位置传感器 PSD测量系统具有非接触、测量范围较大、响应速度快、精度高等优点，近年来广泛用于位移、物体表面振动、物体厚度等参数的检测。 光位置传感器的结构 通过检测电流检测光照射的位置