可调谐二极管激光吸收光谱中的高精度气体检测技术分析-analysis of high accuracy gas detection technology in tunable diode laser absorption spectrum.docxVIP

中文摘要可调谐二极管激光吸收光谱（TDLAS）技术具有高灵敏度、高特异性、高 谱线分辨率，已经成为现场痕量气体检测的一种有效的方法。从发展进程看，国 内外已经报道了很多大气检测应用并取得了成功，但仍有需要解决的问题。本课 题在这种背景下，研究 TDLAS 的高精度气体检测技术，主要研究在气体检测中 的消除背景和减小误差等技术，具体包括系统仿真模型、激光器特性、二次谐波 背景消除技术和一次谐波背景消除与基线校正，主要内容和创新点如下：1、TDLAS 系统仿真建模。建立 TDLAS 系统仿真模型，对系统中光源、气 体吸收池、信号检测模块分别进行了建模。讨论了强度调制的线性部分和非线性 部分对二次谐波波形的影响，得到二次谐波畸变及剩余幅度调制（RAM）形成 的根本原因。给出了由标准具产生的光学干涉条纹信号的变化规律，分别仿真出 长标准具与短标准具对谐波的影响情况。为谐波信号中的背景成分分析提供了理 论依据和指导。2、激光器特性研究。包括激光器的调谐特性、相对强度噪声（RIN）、激 光器扫描步长和线宽特性。给出了激光器输出波长调谐特性曲线和一次、二次拟 合结果及表达式，提高了波长对应精度。研究了 RIN 对光电探测器电流的影响， 给出了不同条件时探测器的电流噪声谱密度与调制频率之间的关系曲线，为系统 参数的选取提供依据。详细分析了具有一定线宽的激光器出射激光与气体吸收谱 线的关系原理，提出了扫描信号引起激光器扫描步长的产生原理，确定系统允许 的锯齿波台阶数。文中通过仿真，在不同气体吸收半高全宽（FWHM）条件下， 得出激光器线宽与气体吸收谱线最大幅值及产生的线宽误差关系曲线；给出激光 器线宽确定时允许的最小 FWHM（FWHMmin）及适用的温度和压强范围。激光 器特性的研究可以提高波长对应精度，减小 RIN 噪声及扫描误差、线宽误差， 最终为提高气体检测精度提供了相关理论依据。3、二次谐波背景消除技术的研究。在应用 TDLAS 技术的开放式和密闭式 气体检测中，当进行背景消除时，存在无法更换气体、不便增加装置或增加系统 复杂性等情况。本文提出一种基于无吸收谱线区域检测谐波（HDINASR）的背 景消除方法，通过改变激光器工作温度改变发射波长至无吸收谱线区域，利用标 准背景信号搜索最佳背景位置，实现背景消除。文中设计出背景分离技术、搜索 方法以及谱线选取原则，分析了系统背景信号的稳定性，以参考信号和待测信号 的背景消除前后相关程度来描述背景消除的效果。此种方法的优点是可以避免更换气体，为开放和密闭式的气体检测提供一种有效的背景消除方法。4、一次谐波背景消除与基线校正技术的研究。针对 TDLAS 一次谐波信号 中具有背景信号及较大的基线信号，提出一种新型的背景消除与基线校正的处理 方法。该方法分为两步，第一步利用 HDINASR 进行背景消除；第二步进行基线 校正：第一步背景消除后会有一个剩余基线，通过选取水平基线的一部分采样数 据进行直线拟合，实现基线校正。一次谐波信号经过背景消除和基线校正后，信 号的畸变得到明显改善，基线得到校正。文中验证了该方法在激光器其他工作温 度（26.7-27.2℃）是有效的，并对氟化氢（HF）气体浓度检测精度的改善进行了 定量分析。该方法为一次谐波信号的后续处理提供了方便。关键词：可调谐二极管激光吸收光谱；仿真建模；激光器特性；二次谐波；一 次谐波；背景消除；基线校正ABSTRACTTunable diode laser absorption spectroscopy(TDLAS) technology, because of high sensitivity, high specificity, high spectral resolution, has become an effective method for trace gas detection field. During the course of development, a number of atmospheric sensing applications have been reported and successful at home and abroad, but there are still problems to be solved. In this context, the paper mainly studies background elimination and error reduction technology of TDLAS high precision gas detection, including system model, laser characteristics, the second harmo