两步包埋法制备钛—氮化钛双层涂层的分析-analysis of titanium - titanium nitride double-layer coating prepared by two-step embedding method.docxVIP

Classified Index U.D.C:A Dissertation for the Degree of M. EngStudying on Ti-TiN two-layers coating prepared by two-step embedding methodCandidate:Wu MingSupervisor:Assoc. Prof. Li ChongAcademic Degree Applied for:Master of EngineeringSpecialty:Materials scienceDate of Submission:December, 2012Date of Oral Examination:March, 2013University:Harbin Engineering University哈尔滨工程大学 学位论文原创性声明本人郑重声明：本论文的所有工作，是在导师的指导下，由作者本人 独立完成的。有关观点、方法、数据和文献的引用已在文中指出，并与参考 文献相对应。除文中已注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集 体已经公开发表的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均 已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者（签字）：日期：年月日哈尔滨工程大学 学位论文授权使用声明本人完全了解学校保护知识产权的有关规定，即研究生在校攻读学位 期间论文工作的知识产权属于哈尔滨工程大学。哈尔滨工程大学有权保留并 向国家有关部门或机构送交论文的复印件。本人允许哈尔滨工程大学将论文 的部分或全部内容编入有关数据库进行检索，可采用影印、缩印或扫描等复 制手段保存和汇编本学位论文，可以公布论文的全部内容。同时本人保证毕 业后结合学位论文研究课题再撰写的论文一律注明作者第一署名单位为哈 尔滨工程大学。涉密学位论文待解密后适用本声明。本论文（□在授予学位后即可 □在授予学位 12 个月后 □解密后） 由哈尔滨工程大学送交有关部门进行保存、汇编等。作者（签字）：导师（签字）： 日期：年月日年月日摘要本文采用低成本的两步包埋法制备了钛-氮化钛双层涂层。利用 SEM、XRD、EDS 等分析测试方法，对渗 Ti 涂层及 Ti-TiN 双层涂层的表面形貌、截面形貌、化学成分进 行了深入研究。依据研究结果，分析了渗 Ti 涂层和 Ti-TiN 双层涂层的生长机理，建立 了渗 Ti 涂层和 Ti-TiN 双层涂层的生长模型。本文的研究为采用低成本的技术制备性能 优异的 Ti-TiN 双层涂层提供了基础数据与技术支持。研究结果表明，在 800-950℃的温度条件下，通过包埋反应得到了渗 Ti 涂层。随包 埋反应时间的延长，渗 Ti 涂层的厚度明显增长，并且变得连续均匀。分别对 850、900 和 950℃条件下，质量较好的渗 Ti 涂层进行包埋氮化反应处理。研究结果显示，在 900℃ 温度条件下，可以在富 Ti 渗层的表面获得连续的 TiN 涂层。硬度测试表明，TiN 涂层的 表面硬度在 600HK-800HK 之间。因此，通过两步包埋法获得的 Ti-TiN 双层涂层有效的 提高了基体合金材料的硬度。论文依据渗 Ti 涂层的相组成和形貌的研究结果，分析了渗 Ti 涂层的生长机制，建 立了渗 Ti 涂层的生长模型。通过包埋法获得的渗 Ti 涂层由贫钴内表层、亚稳态扩散层、 稳态扩散层和富 Ti 层等四部分组成。渗 Ti 涂层的生长过程包含渗透和互扩散反应等过 程，钴-钛原子之间的相互扩散是涂层生长的主要机制。800-850℃的温度条件下，渗 Ti 涂层中优先生成 Co2Ti 相，而 900-950℃的温度条件下，渗 Ti 涂层中优先生成 CoTi2 相。同时，论文依据 Ti-TiN 双层涂层的相组成和形貌的研究结果，分析了双层涂层的生 长机制，建立了涂层的生长模型。在氮化反应过程中，大量 Co 原子从渗 Ti 涂层内部向 表面扩散，与富 Ti 层中的 Ti 原子发生反应生成 Co-Ti 间金属化合物。Co-Ti 金属间化合 物的存在阻碍了 N 原子向富 Ti 层内扩散，进一步限制了 TiN 涂层的生长。N 原子的含 量在富 Ti 层中呈梯度变化，因此 TiN 与富 Ti 层具有优异的结合性能。关键词：包埋反应；Ti-TiN 涂层；渗 Ti 涂层；双层涂层AbstractTi-TiN two-layers coatings were obtained by a low cost two-step embedding method. The surface morphology，section morphology and chemical composition of Ti coating