基于正交信号的激光干涉测振系统分析-analysis of laser interference vibration measurement system based on orthogonal signals.docxVIP

reducesignalprocessingtimeandsoon.InchapterIV,themethodtoeliminatetheDCcomponentintheorthogonalsignalareillustrated,byMatalabsoftwaresimulationandexperimentalresultsprovethatthismethodcanbeusedtoeliminatetheDCcomponentinthesignal,andobtainedtheerrorpercentageofarctangentalgorithmresultswiththeincreaseofDCvalue.Meanwhile,themicro-vibrationsignalscanbemeasuredaccurately.InchapterV,experimentalresultsshowwhentheenvironmentaldisturbanceislarge,therangeofthephaseisbeyond[?n2,n2],thenthearctangentalgorithmcannotdemodulatethesignal.Whenusethefeedbackmethod,therangeofthephaseislimitedbetween[?n2,n2],themicro-vibrationsignalscanbedemodulatedbyarctangentalgorithm.Themainworksandcontributionsachievedinthisdissertationwereconcludedasfollows:Firstly,wedesignedamethodtoeliminatetheDCcomponentintheorthogonalsignal,solvetheproblemsthatwrongresultcausedbyDCvaluesinthesignals.Secondly,wedesignedthefeed-backmethodtobalancethefrequencydriftcausedbyenvironmentaldisturbance,therangeofthephasev(t)??(φ1??φ2)islimitedbetween[?n2,n2],themicro-vibrationsignalscanbemeasuredaccuratelybythearctangentalgorithm.Keywords:Laserinterference;Micro-vibrationmeasurement;Quadraturedetection;Arctangentalgorithm.第一章绪论第一章绪论1.1基于正交信号的激光测振技术的研究意义随着检测技术的不断发展，工程科学和技术领域对新型的、高精度和实时测振系统的开发有着很大的需求。振动测量技术目前有机械式测量、电气式测量和光学测量[1]，机械测量的测量频率范围小、线性范围较窄，测量的精度也不高；电气式测量易受电磁场干扰，对测量结果容易造成影响；光学测量中由于激光具有单色性和相干性好的特性，所以激光测量技术的应用得到了快速的发展。利用激光干涉法可以精确地对目标物的微小振动进行测量，由于它具有其它方法不能达到的高精度、高灵敏度、抗干扰能力强和保密性好的优点[2]，而且激光干涉仪的可移动性较好，很容易的改变其测量点，所以在远距离测量和非接触测量中受到人们广泛的重视。目前进行纳米级精度测量的激光传感系统大多是激光干涉传感系统，在高精度测量工作中被广泛的应用，包括零差式激光干涉仪、外差式激光干涉仪等[3]。激光干涉传感系统在进行振动测量时多需要产生一对正交干涉信号，正交干涉信号解调技术可以大幅度的提高激光干涉仪的测量精度和稳定性，因此正交信号解调技术将在精密测量、精密加工等领域有着非常广泛的应用前景[4-6]，在激光干涉信号解调技术领域将有着举足轻重的地位。1.2基于正交信号的激光测振技术的发展近况1.2.1激光测振技术的发展近况及常用方法常用的激光测振的方法有全息干涉技术[7-9]、激光散斑干涉技术[10-12]、激光多普勒技术[13-15]和莫尔干涉技术[16-17]。从1964年水流中粒子的散射光频移首次被叶（Yeh）和库名思（Cummins）观察后，激光多普勒频移技术被证实可以用来测定流动速度[18]。因为激光多普勒技术在测量中拥有测量精度高、测量范围大、多普勒频移与位移成线性、实时性好、非接触测量的优点[19]，在微小振动测量等方面得到很大的发展，该技术也是当今激光振动测量技术中的研究重点[20]。在激光干涉测量中