基于像散原理并行共焦检测微形貌参数可视化测量.docVIP

基于像散原理并行共焦检测微形貌参数可视化测量 　　摘要： 为实现对微结构表面轮廓参数的精确测量，用基于像散原理的并行共焦检测系统获取微结构表面的三维信息，进而实现对微结构表面参数的可视化测量。考虑到微结构表面特点，采用累加弦长双三次样条插值曲面对其表面进行重构。并选择高的插值细分倍率获得连续光顺廓形表面，通过拾取拟合曲面上的点而不是廓形局部三角面片上的点实现三维廓形参数评定。由重构曲面模拟结果显示：累加弦长双三次样条重构微结构表面可以有效地实现对微结构表面参数的精确测量。 　　关键词： 微结构检测； 表面重构； 可视化测量； 累加弦长双三次样条 　　中图分类号： O 439/TP 391文献标识码： Adoi： 10.3969/j.issn2012.05.002 　　引言随着科学技术的发展，IC行业和精密加工与制造中对常见的微尺寸和轮廓的检测提出了越来越高的要求。光学共聚焦显微系统以其非接触，高精度等特点在生物医学检测、IC业和精密制造业的微尺寸和微形貌精密测量领域发挥着重要作用[1]。随着激光的出现和运动控制技术的提高，激光扫描共焦系统采用横向扫描方式有效地扩大了系统的视场，应用于微形貌检测的激光扫描共焦系统已经实现了商品化。近年来随着微光机电技术的发展，涌现了所谓的并行共焦系统[23]。其采用微光机电器件进行光束分割，通过光束的并行探测扩大视场，提高测量效率。但是并行光学系统的像差及各类干扰影响了系统对并行测点的正焦信息的萃取精度，为此将像散原理引入并行共焦检测系统[45]，实现基于像散原理的并行共焦检测系统，利用并行测点所对应光场的差动光能统计值与物点轴向位置之间形成的S曲线的局部线性关系来辨识测点正焦位置，即被测轮廓上Z轴坐标，差动原理具有较强的抗干扰能力，所以系统实现了物点正焦位置的高精度辨识。通过光学系统的横向特性以及轮廓上Z轴坐标获得被测微轮廓的三维坐标，进而实现微尺寸和微形貌的精密测量。基于被测表面的三维数据实现表面重构，通过放大、显示，拾取被测表面的轮廓要素实现微结构的可视化测量。目前以样条函数为工具的曲面拟合方法已被证明是最有用的方法之???[6]。样条曲面可分为逼近样条曲面和插值样条曲面：前者受附近控制顶点的共同控制，不一定通过控制顶点，后者要求曲面通过控制顶点。根据微结构表面的特点及表面重构精度的要求，采用累加弦长双三次样条函数来拟合曲面，它属于插值样条函数，且具有保凸、保形及几何不变性，保证了表面重构的精度。在主流的三维开发平台上利用三角面片来表达曲面，为了提高可视化测量的精度，文中提出了“要素拾取”的概念，即通过拾取重构表面上三角面片上的点所对应的拟合曲面上的点实现“要素拾取”，避免局部三角面片与实际拟合曲面之间的误差，提高轮廓要素的拾取精度，保证微结构表面参数的测量精度。1微结构表面三维数据的萃取并行像散共焦微结构形貌检测系统见图1所示，由并行像散共焦光学系统和纳米微动台组成。纳米微动台实现Z方向上的运动和测量，被测物放在此台上进行观测，图2呈现了测量过程中序列图片获取过程，将要观测的表面放入观测位置，随着微动台的Z向移动，依此采集序列图片Ⅲ、Ⅱ和Ⅰ…，并记录图片采集时的微动台Z向位置。基于像散原理，在序列图片上，正焦测点对应圆形的光场分布，近焦和远焦测点对应着椭圆形的光场分布，图3呈现了将一块3级量块作为被测物时，得到在extraction flow chart序列图片。在实际测量时，根据图4所示的表面三维坐标萃取流程，先将一个一级量块放在微动台上，并使其处于正焦位置，采集此模板图像。模板图像的作用在于确定各个并行像散光场的中心位置，确定测量时各个光斑的X与Y坐标。再将被测表面置于微动台上，拍摄序列图片；根据模板图片上各并行像散光场中心位置，分割测点场；依据像散原理的差动光能统计算法，计算各个并行光场的差动光能统计值；结合每幅图片所对应微动台Z向位置构建并行检测曲线，萃取各个检测曲线的零点。萃取检测曲线上的零点所对应的Z向坐标就是该测点测得的被测表面Z向坐标。软件系统的萃取功能又分为：“定点萃取”即以“模板”所决定的各光场位置为中心划分差动光能统计区域；“浮点萃取”即每次都要重新搜索各光场的中心位置，以此划分光能统计区域。因为微结构的几何变化剧烈时，反射光的方向变化较大，为减小外部干扰，故采用“浮点萃取”的方法求取各个光场中心位置的零点高度值最为可靠。2微结构表面重构在微结构的可视化测量中，除了微结构的三维信息的萃取部分外，最为关键的部分是微结构表面重构。目前属于插值样条函数的拟合方法中最为常用的是双三次样条函数和累加弦长双三次样条插值函数，其中累加弦长双三次样条有以下优点[7]：（1）累加弦长双三次样条插值函数在大挠度情况下具有保凸性、保形性以及几何不变性，而双三