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實習2 雙層抗反射膜 崑山科技大學ePotfolio
薄膜光學模擬軟體實習 實習2 雙層抗反射膜薄膜光學模擬軟體實習 實習2 雙層抗反射膜 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 12 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 13實習2 雙層抗反射膜 實驗目的 配合ThinFilmView模擬軟體,分析討論MgF2/TiO2雙層抗反射膜的特性。 實習軟體、儀器 ThinFilmView模擬軟體 實驗原理 單層抗反射效果不佳,起因於可用材料的折射率太高,換言之,就是基板折射率太低,改善 之道可在基板上先鍍一層高折射率膜層,拉高基板的導納值以便滿足最佳抗反射條件;或者是需要較寬廣低反射率波段時,雙層抗反射膜的引用確實有其必要。低折射率基板 QQ膜層??????? 垂直入射:已知,雙層鍍膜系統的特徵矩陣為因此,導納值為反射率為如欲R = 0,則須滿足即????例如選用玻璃基板nS = 1.52,空氣n0 = 1,若鍍膜材料選用n1 = 1.38若鍍膜材料n1 = 1.65?????????????????????????? 顯然n2 n1才能符合抗反射要求,若是選擇n1 n2的材料則是增反射的狀況。通常,較常見的高折射率材料有??????????? ZrO2 ( n = 2.1 ) TiO2 ( n = 2.2 ~ 2.7 ) ZnS ( n = 2.35 )低折射率材料有 MgF2 ( n = 1.38 ) CeF2 ( n = 1.63 )雙層ARC??????? 以上述兩組設計為例:,,nL = 1.38,nH = 1.7 nL = 1.65,nH = 2.03??????? ??? 結果顯示,兩者均符合在設計波長零反射的要求,但是第二組折射率較高的設計,在λ0兩旁的反射率上升快速,因此,考慮要有較佳的抗反射效果,仍以第一組較低折射率的設計為宜。導納軌跡圖??????? 第一組設計的導納軌跡圖:,,,nL=1.38,nH=1.7??????????????? 單層膜設計:,nL=1.38,,??????????????? 雙層膜設計:,nL=1.38,nH=1.7輸出結果,如下圖所示。??????? 雙層QQ抗反射膜設計的效果,就好像是單層抗反射膜設計在設計波長λ0處往下拉至零的結果,所以,除了設計波長附近外,其餘波段的反射率都是雙層設計劣於單層設計。QH膜層 ,?????????????? ??????? 此時特徵矩陣為???????????????? 導納值為同樣以雙層膜設計:,nL=1.38,nH=1.7為例,其反射率光譜特性如下圖所示。由輸出結果得知在設計波長λ0處,反射率與單層鍍膜相同,故稱λ0/2膜層為無效層。無效層具有拓寬低反射率波段的效果,使整個可見光區的反射率比單層鍍膜還低。前述 QQ抗反射膜為單一零值的V型鍍膜,改成 QH設計將有可能成為雙零值的W型鍍膜。因為原設計中的 n2值太低,所以,只有極小值而非零值;若想達到零值,可以增加n2值至1.9,其效果為 ? , ??????? 此時特徵矩陣為???????????????? 導納值為同樣以雙層膜設計:,nL=1.38,nH=1.7為例,其反射率光譜特性如下圖所示。(1) (2) 以上三種是雙層增反射的光譜輸出,其中請特別注意半波長的效應。斜向入射??????? 以雙層膜設計:,nL=1.38,nH=1.7為例,其不同偏振極性的反射率光譜特性如下圖所示。由上圖可知,隨入射角遞增,設計波長處的反射率也遞增,並且往短波長區移動。由上圖可知,P偏振與S偏振的反射率特性呈現相反的動作,隨入射角遞增,設計波長處的反射率也遞減,並且往短波長區移動。 實驗步驟 1. 打開ThinFilmView模擬軟體,選按功能表列之膜名輸入:單層抗反射膜,層數設定為1,按OK重複上述步驟,膜名輸入:雙層抗反射膜,層數設定為2,按OK2. 調整雙層抗反射膜的第1層鍍膜材料改為TiO2,按;設定波長曲線圖的y軸最大值格 式,選用自動 3. 變更第1層鍍膜膜厚,使用滑動尺微調,觀察相對應的反射率變化 以上使用滑動尺微調時,發現微調範圍以0.25為中心±0.1,因此調整第一層膜厚為0.1,再使用滑動尺微調第一層與第二層,找出暫時的最佳抗反射設計 4. 重複步驟3,波長範圍400~700nm,找出最佳的雙層抗反射設計 5. 顯示蒸鍍控制曲線圖6.
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