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直线压电驱动器发展研究及关键技术 　　摘要：直线驱动器是机电系统运行的关键，直线压电驱动器以其特有的优势在该领域迅速发展，引起广泛关注。它可实现高分辨率的运动，响应速度快、精度高，没有空回、粘滑等现象，且不发热，无噪声、无污染，控制方法简单。本文介绍了直线压电驱动器的技术特点，并对国内外的压电驱动器发展及应用情况进行详细介绍，指出了压电驱动领域的关键技术，对直线压电驱动器新一代样机的研制具有指导意义。 　　关键词：直线压电驱动器 尺蠖原理 箝位机构；发展现状 关键技术 　　中图分类号：TH112 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2014）02-0105-03 　　1 引言 　　驱动器是机电系统与自动化装备的重要器件之一，其性能直接影响系统的可靠性、可控性。随着现代科学技术的发展，各种驱动器也向着小型化、易控制化、精密化的方向发展。传统的驱动器重量较重、结??复杂、维修困难、频率响应不高，在很大程度无法满足现代机电系统的需求，因此以压电材料为代表的新型功能材料驱动器引起关注。根据压电陶瓷的逆压电效应制成的压电驱动器与其他新型驱动器相比，具有定位精度高、响应迅速、结构简单、输出力大、不发热和不受磁场影响等特性。压电驱动器大多基于尺蠖原理设计的，即通过模仿自然界中昆虫的运动，将压电元件的单步位移转换为输出机构的位移。根据运动形式，直线型压电驱动器有蠕动式、推动式和蠕动-推动式三种类型。本文将重点说明蠕动式和推动式尺蠖压电驱动器的研究现状、实现方式及关键技术。 　　2 蠕动式尺蠖压电驱动器 　　蠕动式直线尺蠖驱动器本质上更接近于自然界的尺蠖，模仿了爬虫等动物的爬行方式，即将压电叠堆的微小步距累加，可实现较大行程、高速度的双向蠕动运动，在精密驱动领域运用广泛，由箝位机构A、C、驱动机构B和导轨组成，图1为其运行原理图，采用“箝位-驱动-箝位”的方式运行，通过改变所加电压信号的时序，可实现反向运动，通过改变控制信号的频率或驱动机构B中压电叠堆的数目来控制驱动器的运行速度。这种驱动器结构简单，运行稳定，易控制，因此该类型驱动器相关样机也较多。 　　第一个管状蠕动型尺蠖驱动器于1968年诞生，用于精密加工中的材料定位。前苏联在1972年研制了第一个完全意义上的蠕动型尺蠖驱动器，并用于精密定位，后来的许多设计都以此为原形，图2所示，是较为典型的构型，用层叠的压电片使结构紧凑，也增加了承载能力、提高了运动速度，达到微米级的精度，运动速度最高可达每分钟几百毫米。1988年，美国首次利用柔性机构放大了压电致动器的位移，实现箝位机构的夹持作用。美国维吉尼亚州理工大学在驱动器结构中采用柔性放大机构，以此来放大中间驱动机构的步距，提高驱动器的速度，如图4，该驱动器结构较为新颖，值得借鉴。韩国也研制了一种结构新颖的驱动器，其中间结构为椭圆形，箝位机构能同时用来箝位和驱动，该驱动器实用性更强。2004年，加拿大Tenzer etal等人提出另外一种内部嵌入钳位压电叠堆和驱动压电叠堆的蠕动式尺镬型压电直线驱动器，并且在驱动器端部安装了预紧机构和传感装置，如图3，使得驱动器运动精度有了一定的提高。 　　国内较早研究蠕动式直线驱动器的是广东工学院机器人研究室的杨宜民教授，杨教授提出了仿生型步进式直线驱动器，驱动器由导轨、可动件、输出轴等组成，可动件左右端的抓爪上贴有摩擦材料，增加了可动件和导轨间的摩擦力，从而提高驱动器的带载能力，运行的参数为：步距0.1-16um、步距误差 　　国内的推动式压电驱动器研究状况，2004年天津大学研制了一种基于步进运动原理的大行程纳米级步距压电驱动器，可实现压电电动机的连续匀速输出，且位移是线性的，在驱动电压300v时，运动速度可达12um/s，最小步距小于6nm，行程大于10mm，该驱动器分辨率较高。清华大学设计的驱动器，采用周向分布式杠杆放大柔性铰链机构进行箝位，如图10所示，整个输出轴被箝位机构抱死，输出力大于30N，但结构过大。清华大学1992年首次提出用电流变材料（简称ER液体）来箝位的尺蠖驱动器，运行速度为1.5um/s，负载为2.45N，该驱动器箝位稳定，磨损、冲击的问题不明显，无需高精密加工，但也显示出一些不足，如输出力小、响应速度慢、受温度影响大等。 　　4 直线压电驱动器研究中的关键技术 　　虽然压电陶瓷驱动器与传统驱动相比其优势明显，其应用也越来越广泛，但是为进一步推动压电驱动器技术发展及应用，仍需要解决一些关键技术，主要涉及结构模型设计、构件加工精度和控制方法等。 　　在压电陶瓷驱动器的设计方面，由于压电陶瓷的一些固有特性，如伸长量小，压电叠堆的输出位移仅为其本身长度的千分之一左右，通常不超过100um，这就对驱动器结构尺寸的设计、压电驱动元件的加工精度等都提出了很高的