射频磁控溅射法制备ag tio2复合薄膜的光催化和亲水性能研究-photocatalytic and hydrophilic properties of ag tio _ 2 composite films prepared by rf magnetron sputtering.docx

摘要TiO2薄膜具有光催化和亲水性能，在污水处理、空气净化、自清洁、防雾材料等领域引起人们广泛关注。然而为了实际应用，需要进一步提高其光催化活性和亲水性能。因此，提高TiO2薄膜的光催化活性，增强其亲水性能，制备具有高的光催化活性和超亲水性能的新型TiO2薄膜，业已成为光化学、光催化和材料科学等领域的前沿研究课题。本学位论文采用射频磁控溅射法在单晶硅、玻璃、石英片上淀积Ag含量不同(0-40.0vol%Ag)的Ag-TiO2薄膜。利用表面轮廓仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、透射电子显微镜、紫外可见分光光度计、荧光光度计和接触角仪等测试分析技术表征薄膜厚度、结构、组分、形貌、光学性能和亲水性能。使用高压汞灯作为光源，以甲基橙溶液为模型化合物评价薄膜的光催化活性。全面系统地考察Ag的含量、衬底、退火温度和退火时间等对薄膜的结构、组分、形貌、光学性能、光催化和亲水性能的影响。并将Ag-TiO2薄膜应用于光催化降解巢湖污染水样、防雾玻璃和防雾镜的实验研究。主要研究结果如下：1.研究退火温度对TiO2薄膜相结构、表面化学组成、形貌、光学性能、光催化活性和亲水性能的影响。结果表明：淀积态TiO2薄膜呈现出无定形结构特征，经400℃退火后的薄膜出现锐钛矿相，600℃退火后出现金红石相，1000℃退火后锐钛矿完全转变为金红石相。随着金红石相的增加，亲水性能增强。锐钛矿与金红石混合相(锐钛矿相质量百分比为13%)薄膜具有最佳亲水性能。随着退火温度的升高，晶粒尺寸和表面粗糙度逐渐增大，仅在950~1000℃时出现减小。1000℃退火的薄膜组成为TiOx。薄膜的光催化活性依赖于带隙和粒度，适当的带隙(2.97-3.07eV)有利于电子-空穴对的产生，从而使薄膜具有良好的光催化活性。淀积态薄膜反复使用6次对初始浓度为5.0ppm的甲基橙溶液的光催化降解率分别为36.566%、33.112%、32.824%、32.248%、30.521%和28.794%，使用蒸馏水超声清洗10min后，降解率恢复为33.975%。2.研究退火时间对TiO2薄膜相结构、形貌及光学性能的影响。结果表明，在相同的退火温度下，与退火0.5h相比，退火1h的薄膜中锐钛矿相TiO2减少，金红石相TiO2增多，对可见光透射率有所减小，1000℃以上退火时，透射率减小更为明显。与退火1h相比，退火0.5h薄膜颗粒较小，明显呈现纳米团簇状，薄膜表面粗糙度增大。3.研究Ag含量对TiO2薄膜相结构、表面形貌、光学性能、光催化活性和光致亲水性能的影响。结果表明，Ag含量影响薄膜晶相结构，薄膜中的银以单质形式存在。随着Ag含量的增加，光催化活性首先增加，含5.0vol%Ag的薄膜光催化活性最高，然后减小，但是仍然高于纯TiO2薄膜。光催化活性的增强主要归因于带隙减2小和薄膜表面氧阴离子激子O?与活性中心Ti3+的增加。随着Ag含量的增加，薄膜亲水性能先增后减，适量的Ag(大约5.0vol%)颗粒修饰能增强TiO2薄膜的亲水性能，其机理归因于薄膜表面O2-与Ti3+的增加和电子-空穴的有效分离。4.研究了退火温度对10.0vol%Ag修饰的TiO2薄膜相结构、组成、形貌、光学性能、光催化性能和亲水性能的影响。结果表明，添加10.0vol%Ag抑制了锐钛矿TiO2的生长。950℃退火的薄膜表面没有发现Ag元素。随着退火温度的升高，平均颗粒尺寸上下波动且有增加的趋势。随着退火温度的升高，薄膜对甲基橙溶液的光催化降解率首先从未退火时的40.308%增加到200℃时45.777%、400℃时48.944%，然后减小到600℃时44.338%、800℃时31.672%，当退火温度为950℃时，降解率又增加为44.05%。薄膜接触角从未退火时89o减小到200℃时84o、又增加到400℃时93o、600℃时99o，然后减小到800℃时54o，当退火温度为950℃时，接触角又增加为61o。5.研究了900℃下退火时间对5.0vol%Ag修饰的TiO2薄膜相结构、表面形貌、光学性能和亲水性能的影响。结果表明，在相同的退火温度下，薄膜的晶相结构随着退火时间的不同而变化，并明显地沿着金红石TiO2(110)晶面择优取向生长。平均颗粒尺寸起初随着退火时间的增加而增加，当退火时间达到30min之后，再增加退火时间，平均颗粒尺寸却无明显变化。表面粗糙度与颗粒尺寸密切相关。荧光发射光谱强度随着退火时间的增加而增强。随着退火时间的增加，接触角从未退火时的81o减小到退火15min时的59o、又增加到退火30min时的64o、然后减小到退火60min时63o，退火90min和120min时，接触角均为62o。退火时间影响Ag-TiO2薄膜亲水性能的主要因素有：(1)缺陷位的数量；(2)可见光吸收区域；(3