声表面波传感器结构仿真及敏感特性分析-structural simulation and sensitivity analysis of surface acoustic wave sensor.docxVIP

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2018-08-01 发布于上海
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声表面波传感器结构仿真及敏感特性分析-structural simulation and sensitivity analysis of surface acoustic wave sensor

ABSTRACTKeywords:SurfaceAcousticWave(SAW),Inter-digitaltransducer(IDT),sensor,copperphthalocyanine,polyvinylpyrrolidone目录目录第一章绪论.........................................................11.1声表面波传感器的概述............................................11.1.1声表面波传感器的定义.......................................11.1.2声表面波传感器的基本组成及工作原理.........................11.1.3声表面波传感器的分类.......................................21.1.3.1延迟线型.............................................31.1.3.2谐振型...............................................31.2声表面波传感器发展应用..........................................41.3论文主要研究内容及安排..........................................7第二章声表面波传感器结构分析.......................................82.1声表面波传感器理论基础..........................................82.1.1叉指换能器.................................................82.1.1.1叉指换能器结构参数...................................82.1.1.2叉指换能器的工作原理................................102.1.1.3叉指换能器的基本特性................................112.1.2声反射栅..................................................122.1.3表面波基片材料............................................132.2声表面波传感器结构参数分析.....................................152.3声表面波传感器频域传输特性.....................................172.4声表面波传感器结构分析结果......................................25第三章声表面波传感器敏感薄膜制备及特性测试分析....................313.1声表面波传感器敏感薄膜制备及表征...............................313.1.1声表面波传感器敏感薄膜制备................................31目录3.1.2声表面波传感器敏感薄膜表征................................313.1.2.1紫外可见分光光度法表征..............................313.1.2.2红外光谱特性表征....................................323.1.2.3X-射线光电子能谱XPS表征333.2声表面波传感器工作原理..........................................353.2.1质量沉积效应..............................................353.2.2电导率效应................................................363.2.3温度特性..................................................393.2.3.1延迟线型............................................393.2.3.2谐振型..............................................403.3声表面波传感器特性测试及分析...................................403.3.1测试装置..............