《微机电系统》MEMS的设计.ppt

静力分析——与时间无关（或可忽略）的静力载荷（如集中/分布静力、温度载荷、强制位移、惯性力等）下的响应，并得出所需节点位移、节点力、约束（反）力、单元内力、单元应力和应变能等 动力学分析——瞬态响应、振动模态、 冲击谱、动力灵敏度、声学分析等。阻尼类型、动力定义方式类型决定其分析能力。 屈曲分析（稳定性分析）——确定结构失稳临界载荷 （2）NASTRAN的模块介绍 非线性分析——考虑材料和几何、边界和单元的非线性因素，当材料在达到初始屈服极限时，往往还有很大潜力，采用非线性分析会得到有效的结果 热传导分析——计算出结构内的热分布状况 流体/固体耦合分析——解决流体和结构之间的互相作用效应，NASTRAN拥有流/固体耦合法、非弹性流体单元法、虚质量法等方法 空气动力弹性及颤振分析——气动、惯性及结构力间的相互作用，NASTRAN可作静态和动态气弹响应分析、颤振分析及气弹优化。 四、MEMS的设计 MEMS的设计涉及到系统设计、微传感器设计、微执行器设计、接口设计和能量供给的设计。工程设计是解决人们在生产和生活中遇到需要解决的问题。产品开发和工程设计一般能够被描述为以下三种解决问题的过程。 （1）综合问题的解决：当设计目标集中解决设计问题 时，能够被描述为处理问题过程.其流程如图2.1所示： （2）产品综合：当设计产品集中于应用系统理论,以及在设计工作中必须处理制造产品问题的过程,这种起始点是明确所需要的功能和所处理的技术资料,产品综合工作流程如图2.2所示. (3)产品开发集成：从市场需要出发到开发产品的活动，设计与市场及制造相联系的产品，这时处理的结果不是产品,而是商务.其流程如图2.3所示. 因此，产品设计是人们预想的实现,是新的观点的产生。为满足人们的需要，在进行MEMS设计时，应该考虑产品具有哪些功能,这些功能由什么方式实现。首先要求对所设计的MEMS产品展开系统功能分析。确定功能度，描述产品的功能，最后进行系统设计。目前有三种设计方法可供选用: （1）从系统功能设计开始,展开到系统设计。 （2） 从系统设计展开到子系统,元器件设计 . （3）中间相遇方法(Meet-in-the-Middle), 以一个简单的微系统为例，图2.4所示是微系统设计的过程框图。 中间相遇方法的特点：每一个步骤的执行不是 严格一成不变的，而是取决于所取得的中间结果 (有可能返回)，所产生的数据通常要被所有过 程所利用。由于设计和制造与微系统的特性是相 互紧密联系的，最后的设计结果产生在掩模版图 上，并以此对电子元器件、功能模块、子系统进 行改进。因此中间相遇方法使用相对要多一些。 2.1系统设计方法 从功能观点分析，MEMS产品的实现系统的组成: 主功能模块：包含有对物质、能量和信息的变换、传输、储存三种功能模块及动力功能模块，控制信息模块，实施对系统功能的操作指挥，程序的编排等功能，这是系统必不可少的重要功能。 此外还有结构功能模块含有系统内各组成部分必须确定在要求的位置上实现功能，即在一个芯片上或者几个芯片键合在一起，从结构角度形成一个整体。结构功能对系统各功能操作实现有很大影响。系统各功能模块的组成，如图 MEMS产品的各种功能模块具有类似于人体各部分的功能，如图2.6所示 从机械电子学的概念和设计方法发展到MEMS的设计，系统设计的基本思路是一致的.当前,有5种设计思路。 J.Kawakita法，M.NaKayama法， Key-Needs法，Kepner-Tregoe法，Z.G..Zhu-M..Kajitani 法。M..Kajitani法. 2.1.1．J.Kawakita法 J.Kawakita法简称K.J法.K.J法是由底向上处理大量数 据之间关系的一种假设。 K．J法思路步骤： （1）标签制作：（2）标签归类 （3）范围制作： （4）说明： 另外 KJ法的派生有累积KJ法。累积KJ法是基于收集信息系统化的一种方法，为解决实际问题存在一种了解信息结构而客观的观点。根据一种“W形态问题解决的模型”Kawakita建议从2个周期到6个周期累积法使问题得到解决。如图2.8所示。 （a）基础概要：问题解答的步骤 （b）KJ法的6个周期 图2.8 KJ法W型态问题解决流程图 2.1.2 M Nakayama法 M．Nakayama法简称NM法。NM法是在自然式日 常生活中寻找比拟法创造和开发新技术观点，应用 到不同的问题型式中。NM法是根据人脑功能的一 种假设，在Nakayama的“人脑计算机模型（HBC）” 中描述。其思路框图如图2.9所示。 NM法的四种技术：（1）NM法的A型式和S型式， A型式（面积）：空间的