铌掺杂tio2sno2薄膜透明导电性研究-study on transparent conductivity of niobium doped tio _ 2s _ no _ 2 thin film.docxVIP

万方数据 万方数据 学术论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研 究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其它个人 或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集 体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。 学位论文作者： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权声明 本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品，知识产权归属郑州大学。 根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部 门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权郑州 大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索，可以采用影印、 缩印或者其它复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学 位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时，第一署名单位仍然为郑 州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。 学位论文作者： 日期： 年 月 日 摘要 摘要 摘要 近年来由于太阳能电池、平板显示器、发光二极管、智能手机以及节能玻 璃等应用领域日益增长的需求，透明导电氧化物薄膜(TCO)获得了越来越广泛 的应用。目前应用最广的 TCO 材料是氧化铟锡(ITO)，并且已经成功实现了大规 模商业化生产。然而，地球表面的铟资源使用寿命不超过 50 年，人们持续对铟 资源的需求导致了其大量的消耗。因此，开发新型无铟透明导电氧化物薄膜的 任务迫在眉睫。 本课题采用先进的外源等离子体溅射法在玻璃衬底和单晶硅衬底以及柔性 PET 衬底上成功沉积制备了两种不同的透明导电氧化物薄膜，分别为铌掺杂二 氧化钛透明导电薄膜和铌掺杂二氧化锡透明导电薄膜。我们对制备出的透明导 电薄膜样品进行了表征：用表面轮廓仪对薄膜厚度进行测量，用 X-射线衍射仪 (XRD)对薄膜晶体结构进行表征与分析，用场发射电子扫描显微镜(FESEM)观察 薄膜的表面显微形貌，用透射电子显微镜(TEM)观察薄膜内部晶体结构，用 X- 射线光电子能谱(XPS)来表征薄膜表面的元素化学态，用紫外-红外可见分光光度 计(UV-Vis)、拉曼测试仪(Raman)和荧光光谱仪来表征薄膜的光学性能，用霍尔 测试系统(Hall 8400)和半导体测试系统表征薄膜的电学性能。具体结论如下： 1、铌掺杂二氧化钛薄膜 (1) 通过调节退火温度，来控制薄膜的晶体结构。所有的沉积态薄膜均为非 晶态薄膜，经过不同温度退火后，薄膜的结晶形态不同，在退火温度比较低的 条件下，薄膜中只有少量的纳米晶出现，当退火温度超过 400℃时，薄膜已经完 全结晶为锐钛矿相，铌掺杂没有改变薄膜的晶体结构。 (2) 通过调节不同的氧气流量，来控制薄膜的光学性能。随着氧气流量的增 大，薄膜的透光率开始提高，当氧气流量大于 5.3 sccm 时，薄膜的平均透光率 达到了 85%以上，此时，光学性能已经完全满足了透明导电氧化物薄膜的要求。 (3) 通过调节不同的氧气流量来控制薄膜的电学性能，经过 450℃退火后的 薄膜综合电学性能随着氧气流量的变化而变化，随着氧流量的增大，薄膜的综 合电学性能先变好后变差。当氧气流量为 5.6 sccm 时，电学性能最优。 2、铌掺杂二氧化锡薄膜 I 万方数据 万方数据 (1) 薄膜的晶体形态受退火影响明显。退火之前，所有的沉积态薄膜均显示 为非晶态，经过 450℃退火之后，薄膜晶体形态转变为四方金红石相二氧化锡结 构。 (2) 氧气流量显著影响薄膜的光学性能。随着氧气流量的增大，薄膜的透光 率也在逐渐增大，当氧气流量增大到 3.5 sccm 时，薄膜平均透光率超过了 90%， 光学性能已经非常优越。随着氧气流量的增加，薄膜透光率曲线极大值发生了 蓝移，这是薄膜禁带变宽所致。 (3) 通过调节氧气流量来控制薄膜的电学性能。随着氧气流量的增加，薄膜 的电阻率先变小后增大，霍尔迁移率和载流子浓度先增大后变小，当氧气流量 为 4.0 sccm 时，薄膜综合电学性能最优。 关键词：等离子体溅射；透明导电氧化物薄膜；XPS 研究；光电性能 II Abstract Abstract PAGE IV万方数据 PAGE IV 万方数据 Abstract Currently, transparent conducting oxides (TCOs) have been widely used in photonic devices, especially in the flat panel displays, light emitting diodes, touch screens, thin-film solar cells and energy-efficient glass screens. Among