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FUMAUDCC系统在电子洁净厂房中应用 　　摘 要：在TFT面板的电子洁净厂房中，模组工艺制程的后工程仅需要温湿度要求。传统的空调形式组合空调AHU+净化新风MAU，需要的空调站房面积大，管道系统复杂，吊顶空间要求高，空调能耗高等特点给设计师带来巨大的挑战。为此创新了空调形式FU+MAU+DCC即风机送风单元+净化新风+干表冷系统。文章将结合已经投入生产的实际工程，阐述新系统的应用。以供洁净室设计师多个系统方案的选择。 　　关键词：电子洁净厂房；模组工程；空调系统形式；FU；低洁净度的电子组装车间 　　中图分类号：V268.1 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2018）13-0020-03 　　Abstract： In the electronic clean workshop of TFT panel， only temperature and humidity are required for the rear engineering of the module process. The traditional air conditioning form combination air conditioning AHU+ purifying fresh air MAU， requests that the air conditioning station room area should be large， the pipeline system be complex， the ceiling space request be high， the air conditioning energy consumption be high and so on； the characteristics bring the huge challenge to the designer. For this reason， the air conditioning form FU+MAU+DCC is innovated， that is， fans air supply unit + purifying fresh air + dry watch cooling system. This paper will explain the application of the new system in the light of the actual project that has already been put into production， for cleanroom designers to choose from multiple system options. 　　Keywords： electronic clean workshop； module engineering； air conditioning system form； FU； electronic assembly workshop with low cleanliness 　　1 概述 　　所谓的FU风机送风单元与常规的FFU区别在于FU取消了高效过滤器，换成G4初效过滤盒。FU采用交流电源，出风面为双层百叶风口。箱体构造与FFU相同，也可设置为可上人上装式。DCC即干表冷器是洁净厂房常见的温控设备。净化MAU新风是指经过两级表冷段、两级加热段、一级喷淋加湿段、初效段、中效段、高效段等处理过的带有湿度控制能力的新风。 　　2 背景情况 　　液晶面板工业的电子类厂区建设中，模组厂房是液晶面板的最后工艺制程阶段。在模组里工艺前工程，净化要求高；然而后工程工艺段如老化、驱动IC、组装包装等区域则常见为有温湿度要求的非净化生产区。也有提高规格做成J9级净化区的。以往非净化后工程空调形式是净化MAU+组空AHU，通过大量而复杂的送回风管道系统送至服务房间。这里的模组厂房为劳动密集型建筑，排烟人员面积指标不满足电子工业洁净厂房规范。所以加上防排烟系统管道，给综合管线带了巨大的困难；给空调系统增加了能耗；给施工带来了难度；给管理方带了诸多不便。下图1为某项目的MAU+AHU系统。 　　3 新系统的工程实践 　　3.1 工程概况 　　某工程项目总建筑面积约1019046平米，其中模组栋号建筑有4层局部5层，建筑面积219214平米。采用FU+MAU+DCC空调系统的建筑面积达34640平米，其建筑装修做法同洁净室一样采用50mm彩钢板。 　　3.2 工程实例空调系统原理图（如图2） 　　以模组三层的房间为例，MAU新风通过电动调节阀、手动阀门和百叶风口送至后工程区的上技术夹层里。再由FU送风单元送入房间，以保证压力和房间湿度要