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SAMCEF在超声波电机设计中应用 　　【摘要】在微机电领域中，为获得超声波电机的振动模态及谐响应特性，利用SAMCEF有限元分析软件对直径为50 mm的环形行波型超声波电机压电转换器和定子的振动状态进行了分析;在完成超声波电机定子建模的基础上，进行振动模态分析和最优模态选择，并在此基础上进行了谐响应分析。分析结果表明，利用SAMCEF软件对超声波电机进行分析被证明是一种行之有效的方法。 　　【关键词】SAMCEF;超声波电机;建模;模态分析;谐响应分析 　　SAMCEF application in the design of ultrasonic motor 　　LIU Dehua REN Yifeng LUO Wei 　　Abstract：Aiming at obtaining the ultrasonic motor vibration mode and harmonic response characteristics，SAMCEF finite element method（FEM）software was used to analyze stator vibration state of a ring-type traveling wave ultrasonic motor with 50mm in diameter.Based on modeling of the ultrasonic motor stator vibration mode was analyzed and optimum vibration mode was selected，and harmonic analysis was analyzed near the optimum vibration mode.The results indicate that SAMCEF is an effective method in the ultrasonic motor analysis. 　　Key words：SAMCEF;ultrasonic motor;solid modeling;modal analysis;harmonic analysis 　　引言 　　超声波电机是利用新原理设计，特殊材料制作的一种新型微特电机，是微机电领域中一种重要的设备，它利用压电陶瓷等一些半导体材料的逆压电效应产生超声频振动，进而通过定转子间的摩擦力来驱动转子。在现代电子技术中，尤其在高集成度电子芯片伺服系统及周边电路等方面，有很大发展空间。与传统电磁式电机相比，超声波电机结构紧凑、断电自锁、响应速度快、控制精度高。因此，在航空航天、精密仪器仪表、智能机器人等领域有着广阔的应用前景，为当前微机电领域的一个研究热点[1]。 　　不同型式的超声波电机其工作时的振动模态不同，了解超声波电机的振动状态，尤其是核心部件压电换能器和定子的振动状态，对超声波电机的设计十分重要。同时也是设计外围控制电路的前提。 　　有限元法在分析复杂问题时具有明显的优越性，随着ANSYS和SAMCEF等大型通用有限元分析软件的不断成熟，有限元法的应用领域也越来越广。也为超声电机仿真设计提供了一种实现手段。而SAMCEF无论从计算精度还是计算速度上都优于ANSYS，因此笔者采用SAMCEF对直径为50mm的行波型超声波电机的压电换能器进行建模和模态分析、谐响应分析，并给出有限元分析结果。 　　1.超声波电机压电换能器及定子建模 　　对压电换能器和定子进行三维实体建模，是SAMCEF软件对超声波电机的振动特性分析的前提。 　　SAMCEF Field中有Modeler模块，此模块可以用于创建几何体，因此可以用它来进行建模。环形超声波电机的定子与转子摩擦的部位为齿状状结构，齿数为72。建模过程如下： 　　（1）首先定义点，利用点连接成线，由线围成剖面图，注意剖面由上中下三部分组成。之后生成轴Y，为以后面旋转做准备。 　　（2）将上一步得到的剖面图绕Y轴方向旋转。上层面旋转3°，中间和下层面旋转5°，形成一个齿和齿槽模型，其中上层面及中层面转换而来的即为定子部件，下层面转化而来的即为压电转换器。 　　（3）将单个以上模型绕Y轴旋转拷贝72份，将节点合并，这样带有72齿的定子及压电换能器模型就建立完成了，其中上层面及中层面转换而来的即为定子部件，下层面转化而来的即为压电转换器。 　　（4）数据定义。SAMCEF Field允许在几何体或单元组上定义属性。我们需要定义金属弹性体、压电陶瓷的弹性模量、密度、泊松比等材料参数。定子材料为铍青铜，压电陶瓷为PZT-4。两种材料参数如下，铍青铜：弹性模量、密度、泊松比Y=0.373，PZT-4：弹性模量、密度、泊松比Y=0