SPC系统的设计与实现-软件工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 CALDER?N TECHNIQUE BASED INTEGRAL EQUATION METHODS IN COMPUTATIONAL ELECTROMAGNETICS A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Master of Engineering Author: Wang Yu Zhu Advisor: Yan Wei School : School of Computer Technology 目录 目录 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 摘 摘 要 摘 要 半导体制程是一项复杂的制作流程，从光学显影，干式蚀刻，化学气象沉积， 物理气象沉积，解离金属电浆，化学机械研磨，离子注入等技术大概有三四百个 工序，如何监控流程分析数据成为一大难题，仅仅依靠传统的手工记录无法反映 SPC 技术的及时性及提醒性。传统的质量管理是以检验产品实物质量为依据的， 这样虽然能控制产品的质量，但检查只是把所制成的与规格要求的作一个比较， 或者只能停止不合格品的流动，但不能停止它的产生，尤其是复杂和大量的检查 时需要格外的成本和时间，不仅浪费了原材料同时也降低了生产效率。 本文结合半导体制程控制的控制特点，针对半导体企业过程质量控制的问题， 开发了一套基于 SPC 技术的过程控制系统，该系统既能够将产品、产量、工艺、 设备等各种信息存储于数据库中，又能对质量特性进行异常分析并处理，由过去 的“事后检验”转变成现在的“提前预测”。克服了传统的质量管理系统事后纠 错的缺点。实现了从数据收集到计算分析的功能，消除和避免不合格产品，有效 控制制程，从而达到提高企业生产效率、市场竞争力的目的。 关键词：SPC，半导体制程，异常判断，制程控制 I AB ABSTRACT ABSTRACT Semiconductor manufacturing process is a complex production process, oxidation diffusion, photolithography, etching, cleaning, deposition, etc. no less than approximately three four hundred steps. How to monitor data flow analysis has become a major problem, relying solely on traditional manual records do not reflect timely reminder of the SPC and technology. Traditional quality management is based on products quality inspection, so although able to control the quality of products, but check just made with the specifications required to make a comparison, or only to stop the flow of nonconforming product, but can not stop its production, in particular the need for extra cost and complexity, and a lot of time to check not only a waste of raw materials and also reduces productivity. In this thesis , combine