YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学辐照特性研究-物理电子学专业论文.docx

如 Study ofYBCO High Temperature Superconductor thin film devices and photochemical/ radiation characteristics Major: Phvsical Electronics Advisor: Professor Luo Zhen2xian2 r Doctor: Liu Juanxiu 1 1 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名: 初叭队 日期:切!每 I1 月动日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门戒机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部成部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印成扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 ，吨 r 签名:马 tf 久导师 日期 1 1 摘要 摘要 阳川川码， 阳川川码，h 恻删川 。 刚川川。 MMM川41 州州叫民Jv m阳川00 恤阳川 川 d1 州州Y . . 摘要 本论文研究束属于超导…激光交叉学科领域，虽超导时激光交叉学科 品在全球范围内尚处于初期建设阶段，但其重要性巳引起了众多学者的广泛关注， 有着极其广阔的发展前景。作为交叉学科领域，知识覆盖广、集成创新多成为了 本论文的主要特点，要保持对该交叉学科的持续研究及推动，不可避免地涉及到 以下三个方面的内容: 品 1)高温超导薄膜器件及系统研究; 2) 高温超辱薄膜激光化学特性研究: 3) 高温超导薄膜激光辐照特性研究: 本研究以最终构建较为完整的超导由激光研究体系以及推动其应用作为长 期目标，为能保持该研究的长期待续稳定进行，本论文侧重于开展高温趟导薄膜器 件及系统、光化学特性以及光辐照特性等三个方面的实验及理论研究，从而为持续 发展奠定良好基础。 YBCO 商温超导微波薄膜器件是利用 YBCO 商温超导薄膜在低温环境中优越的表 面电阳性能，制作的滤波器、双工器、多工器等，其性能参数远远高于常规微波 器件; YBCO 薄膜的激光化学刻蚀技术是利用激光亮度商、单色性好、方向性好和 相干性好的优点，可兼顾干法离子刻蚀和温法化学刻蚀的优势，其研究成果将更 加适合于批量化的 YBCO 薄膜刻蚀; YBCO 薄膜光响应器件是利用 YBCO 薄膜的光学 性能与一般半导体光电材料相比，其能隙至少要窄约二个数量级，又具高较高的 光学吸收系数，制作的光控高温超导开关、衰减器以及其它光响应器件在众多领 域都有着特殊的应用。正因如此，高温越导薄膜的器件制作技术、刻蚀技术以及 光子响应特性等研究均成为国内外学者的研究热点，至今仍存在很多问题没有得 到街效解决。 4 萨 4 萨‘E 以高温超导薄膜的性能研究为主线，以实现其应用为目的，深入开展基本原 理、监测方式、加工工艺以及器件制作四个层丽的研究，争取围绕高温超导薄膜 及其相关学科特性形成较为完整的可持续研究体系。 YBCO 高温起导薄膜器件研制及光化学、光辅照特性研究是典型的交叉学科课 摘要 题，它以高温超导薄膜特性研究为基础，涉及到包括超导学、电子学、化学、激 光等众多领域，知识背景复杂，使得现阶段 YBCO 高温超导薄膜的器件研制及光化 学、光辅照特性研究等方面均存在许多急待解决的问题。因各个方面之间互相关 联，独立研究很难达到推动实际应用的目的，为保持长期的可持续研究，本论文 选择以搭建研究体系为切入点，并在各个方面积极开展工作，为综合性和长期性 研究奠定基础，成为本论文的主要特色之一. 本文的主要创新之处包括: 1)提出了低刻蚀误差影响、高温超导广义切比雪夫高低通级联以及限幅自保 护等高温超导器件新结构、新方法，系统研究了高温超导谐振器、滤波器、双工 器、接收机前端等的相关仿真、制作和测试技术。 本论文对高温超导谐振器、星载高温超导滤波器、低刻蚀误差影响高温超导 滤波辑、愿载商、温超导微波双工器、高温超导窄带广义切比雪夫函数滤波器、限 幅自保护高温超导接收机前端等进行了深入的仿真及试验工作。 2) 提出了 YBCO 高温超导薄膜的激光辅助化学刻蚀方法，并研究了激光化学 刻蚀进程中的表面变化特性以及红外、电流特性等。 目前，已有的高温超导刻蚀技术主要布干法离子刻蚀、温法化学刻