ZnO微纳米材料CVD法制备及掺杂研究-信息功能材料与器件专业论文.docxVIP

哈尔 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 目 录 摘 要I ABSRACT II HYPERLINK \l _bookmark0 第 1 章 绪 论 1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 引言 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.2 氧化锌基本性质 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.3 ZnO 纳米材料制备方法 2 HYPERLINK \l _bookmark4 1.3.1 脉冲激光沉积(PLD) 2 HYPERLINK \l _bookmark5 1.3.2 化学气相沉积(CVD) 2 HYPERLINK \l _bookmark6 1.3.3 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 3 HYPERLINK \l _bookmark7 1.3.4 磁控溅射(Magnetron Sputtering) 3 HYPERLINK \l _bookmark8 1.3.5 水热法 3 HYPERLINK \l _bookmark9 1.3.6 分子束外延(MBE) 4 HYPERLINK \l _bookmark10 1.4 ZnO 微纳米材料研究现状 4 HYPERLINK \l _bookmark11 1.4.1 本征 ZnO 研究现状 4 HYPERLINK \l _bookmark12 1.4.2 掺杂 ZnO 的研究现状 9 HYPERLINK \l _bookmark13 1.4.3 掺杂 ZnO 存在的问题 12 HYPERLINK \l _bookmark14 1.5 选题意义 12 HYPERLINK \l _bookmark15 1.6 主要研究内容 13 HYPERLINK \l _bookmark16 第 2 章 ZnO 的制备、表征方法 14 HYPERLINK \l _bookmark17 2.1 实验设备与材料 14 HYPERLINK \l _bookmark18 2.1.1 实验设备 14 HYPERLINK \l _bookmark19 2.1.2 实验材料 15 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2 ZnO 的制备 15 HYPERLINK \l _bookmark21 2.2.1 CVD 原理及特点 15 HYPERLINK \l _bookmark22 2.2.2 工艺流程 16 HYPERLINK \l _bookmark23 2.3 表征方法 17 HYPERLINK \l _bookmark24 2.3.1 X 射线衍射(XRD) 17 HYPERLINK \l _bookmark25 2.3.2 场发射扫描电镜(SEM)及能谱(EDS) 18 HYPERLINK \l _bookmark26 2.3.3 光致发光光谱(PL) 18 HYPERLINK \l _bookmark27 2.3.4 UV 可见分光光度计 19 I HYPERLINK \l _bookmark28 2.3.5 X 射线光电子能谱(XPS) 19 HYPERLINK \l _bookmark29 第 3 章 未掺杂 ZnO 纳米结构的制备及表征 21 HYPERLINK \l _bookmark30 3.1 引言 21 HYPERLINK \l _bookmark31 3.2 制备工艺 21 HYPERLINK \l _bookmark32 3.2.1 基片的清洗 21 HYPERLINK \l _bookmark33 3.2.1 实验过程 21 HYPERLINK \l _bookmark34 3.3 不同衬底对 ZnO 结构和性能的影响 21 HYPERLINK \l _bookmark35 3.3.1 ITO 衬底上 ZnO 纳米线的制备及表征 21 HYPERLINK \l _bookmark36 3.3.2 ZnO 纳米线的光学性能表征 23 HYPERLINK \l _bookmark37 3.3.3 石英衬底上 ZnO 微纳米材料的制备及表征 25 HYPERLINK \l _bookmark38 3.4 不同催化剂下 ZnO 的制备及表征 30 HYPERLINK \l _bookmark39 3.4.1 Ni 催化下 ZnO 的制备及表征 30 HYPERLINK \l _bookmark40 3.4.2 Ag 催化下 ZnO 的制备及表征 31 HYPERLINK \l _bookmark41 3.4.3 Ag 与 Ni 催化下 ZnO 的生长机理 32 HYPERLINK \l _bo