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悬臂梁式加速度计量程可调节方案
悬臂梁式加速度计量程可调节方案
摘要:在高g值加速度测量时,质量块所受的惯性力可能会使悬臂梁上的应力超过屈服应力致使悬臂粱断裂。基于这一点,本文提出了采用MEMS(Micro Electro-Mechinical System)技术用扩散的方法在悬臂梁上制作一个会斯顿测量电桥,加速度变化时,对桥路输出信号经过电压比较器,便可测得加速度大小并且判断出其方向,再经逻辑判断电路送入单片机,单片机控制静电力发生器,最终实现对加速度计量程实时调节的这一目的。
关键词: 加速度计 应变区 实时测量 静电力调整
DOI:10.3969/j.issn.1672-8289.2010.09.007
1 引言
随着微电子加工工艺和传感技术的不断发展,电阻应变式传感器越来越受欢迎,其特点是结构简单,性能稳定、可靠,灵敏度高,便于测量。但是,加速度计在处理量程和灵敏度相兼顾的问题上,都多少存在着一定的困难。尤其是悬臂梁式加速度传感器,悬臂梁多采用硅材料或石英材料制作,在实际工程中,悬臂梁上会受到随时间变化的动荷载,甚至是瞬时冲击较大的荷载作用,虽然可以根据荷载作用前后的能量守恒原则,但是当应力超过材料的强度极限时,结构将发生断裂或屈服失效,特别是脆性材料多晶硅制成的悬臂梁在冲击或振动作用下很容易断裂失效。此外,疲劳也将导致结构断裂,构件在交变应力的作用下,即使其应力小于断裂强度,在经过一定次数的交变应力之后也会发生脆性断裂。因此,对悬臂梁式加速度计的量程的实时调整就很有必要研究。悬臂梁式加速度传感器结构如图1(a)所示:
图1 悬臂梁加速度计及悬臂梁结构图
(a)悬臂梁加速度计结构 (b)悬臂梁结构
2 加速度大小的测量
采用MEMS技术用扩散加工的方法,在悬臂梁上形变最大处正负应变区内制作扩散电阻片,当悬臂梁在受到被测量时将产生变形,其表面产生应变,而粘贴在悬臂梁表面的半导体电阻应变片将随之产生应变其阻值发生变化,电阻应变片阻值的变化转换成桥路输出电压(电流)的变化,再送入测量放大电路,得出被测加速度的大小。为了提高测量精度,悬臂梁采用图1(b)所示结构。图1(b)为截面等强度悬臂梁,它的厚度相同,但截面积不相等,因而沿梁长方向任意一点应变都相等,这样的结构便于电阻片的粘贴。
图 2 悬臂梁上的会斯顿测量桥
(a)正方形膜片力敏电阻分布图 (b) 慧斯登电桥原理图
3加速度方向的判定
为了对加速度实时进行准确测量,其量程就有必要调整。在调量程前,关键的一步就是对加速度方向的判断。电桥的输出信号经放大器放大作为电压比较器的输入电压,根据电压比较器的输出波形就可判断出加速的实时方向。电压比较器的原理结构图如图4(a)、(b)所示:
图3由带正反馈的运算放大器构成的电平检测电路
(a)原理图 (b)结构图
加速度方向的判断如图3(a)所示,其实是一个电平检测电路,它的任务是将悬臂梁上慧斯顿桥路输出连续变化的模拟量转换成“1”或“0”两种状态的数字量,实际上是一个模数转换器。由电平检测电路的结构图图3(b)可得电平检测电路闭环放大倍数为:
R1越小,KV越大,正反馈作用越强,回环宽度越大。为了增强抗干扰能力,回环宽度一般取0.2~0.3V。电平检测电路的输出波形如图4所示:
左: 图4 检测电路的输出电平
根据电压比较器输出的逻辑电平,就可判断出加速度的方向,这一判断为单片机的控制提供了参考。单片机将实时控制静电力发生器给质量块所处的电容极板交替上电,电容极板间的电场力方向也随之实时改变,利用变化的电场力可以抵消质量块所受的较大的惯性力,此时质量块较小的位移代表了较大的被测加速度值,或者与前一时刻运动位移相比较,相同位移代表着不同的加速度值,进而保护了硅梁因受机械应变过大而致使其断裂或疲劳灵敏度降低的问题,最主要的是实现了量程随被测加速度的变化而能够实时调整,以满足被测量的需要。
4静电力调整系统
由于加速度传感器的悬臂梁多采用硅材料或石英材料制作,在实际工程中,悬臂梁上会受到随时间变化的动荷载,甚至是瞬时冲击的荷载作用,虽然可以根据荷载作用前后的能量守恒原则,分析悬臂梁在冲击荷载作用下的冲击应力和应变,但是由于梁能够储存的应变能、以及积累、存储应变能量的速度(实质上是梁和材料将运动能量转换为应变势能的速度)不仅取决于梁的形状,而且还与梁的材料性质等复杂因素有关,因此,对其运动过程的精细准确分析相当困难。当应力超过材料的强度极限时,结构将发生断裂或屈服失效,特别是脆性材料多晶硅制成的悬臂梁在冲击或振动作用下很容易断裂失效。此外,疲劳也将导致结构断裂,构件在交变应力的作用下,即使其应力小于断裂强度,在经过一定次数的交
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