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无油干式涡旋泵在铀浓缩工厂应用 　　【摘 要】铀浓缩工厂生产应用了大量不同类型的真空泵，本文针对气体吹洗、零位、抽空等系统使用的真空泵在操作性、安全性以及经济性等多方面的不足，应用无油干式涡旋泵替代喷射泵、滑阀泵及水环式真空泵，并对应用过程中出现的问题进行了分析、解决。涡旋泵的成功应用，简少了系统设备组成，提高了设备操作自动化程度，降低了设备运行能耗及维护成本。 　　【关键词】涡旋泵；喷射泵；滑阀泵；水环真空泵；真空 　　中图分类号： TB752 文献标识码： A 文章编号： 2095-2457（2018）04-0153-002 　　0 引言 　　铀浓缩是核燃料循环中的重要环节，铀浓缩工厂在生产过程中应用了大量不同类型的真空泵，部分类型真空泵的应用还是上世纪七、八十年代的设计理念，在实际生产过程中存在诸多不足，与工厂自动化、无人值守的发展趋势不相符。无油干式涡旋泵（下文简称涡旋泵）发展已较为成熟，其独有的工作特性及优势已经应用到航天航空、钢铁、石油化工等多个领域，但目前在国内还未见到涡旋泵在铀浓缩工厂应用的相关文献和报告。 　　1 涡旋泵简介 　　1.1 涡旋泵的发展 　　涡旋理论源于法国人Leno Creux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请的美国专利。涡旋泵性能包括其极限真空度、抽速、能耗、噪音和振动等，性能是由泵的容积效率、泄露、摩擦等因素造成的，而这些因素主要是由涡旋盘的加工精度决定，所以在涡旋泵的设计与生产中，保证涡旋盘的加工精度非常重要。在涡旋泵的研制早期，限于制造水平，涡旋盘涡旋齿形线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长一段时间内都没有被制造出来。直到20世纪70年代，高精度数控机床的出现才为涡旋机械的发展带来了机遇[1]。 　　目前市场上的涡旋泵多属于风冷式无油干泵，它与润滑油真空泵在于泵腔内不含任何油类和液体，因此解决泵内的密封性和冷却问题也是其研究的关键，风冷式无油干泵是在1998年才由Sawada T研制成功。 　　国外涡旋泵研制能力较强的公司主要有美国Varian、英国Edwards、德国Leybold和日本Iwata等，涡旋泵的初期产品主要以小抽速为主，多应用于实验室，随着机械加工、材料科学、计算机技术、测量科学等技术的快速进步，涡旋泵已广泛应用于半导体、航天航空、食品、医药等行业，成为清洁无油真空环境的优选抽气设备。国内研制涡旋泵的公司也有好几家，经过十几年的沉淀与发展，产品经过多次的更新换代，目前国产的涡旋泵服务领域涵盖了汽车、航天航空、钢铁、石油化工、分析测试仪器等行业。 　　1.2 涡旋泵工作原理 　　涡旋泵的主要性能特点是转子间隙小、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽，且大多涡旋泵采用风冷却，这对于在铀浓缩工厂应用是比较有利的；由于其工作腔容积的变化时连续的，因而驱动扭矩变化小，振动噪声低，这是其它大多类型的干式真空泵所不具备的。 　　涡旋泵由泵头、电机、机座等构成，其中泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等，涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线型螺旋盘组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成涡旋泵的基本工作腔。工作过程中动、定涡旋盘依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空[2]。图1为涡旋泵工作腔吸、排气原理示意图，（a）动涡旋盘作行星（偏心）运行，气体从开口外缘被吸入；（b）气体进入涡旋盘后，开口封闭；（c）随着动涡旋盘继续作行星运行，气体被压入越来越小的空间；（d）气体从中央排气口排出；（e）事实上，在工作中6个气体通道均处于不同的压缩阶段，从而保证吸、排气过程连续不间断。 　　2 气体吹洗系统的应用 　　铀浓缩工厂气体吹洗系统是在设备、容器、管道拆装或检修时为减少厂房环境的污染及保护工作人员健康而设置的。气体吹洗系统后端还设有尾气处理装置，尾气经处理装置处理达到排放标准后排入大气。国内的吹洗工艺为：当厂房内有开放操作时，首先将内腔的绝大部分残余物料（六氟化铀、氟化氢）冷凝到特定的容器内，在拆装作业前启用喷射泵保证拆装点内腔处于负压状态，此时拆装点内腔残留的极少数物料，会被大量的空气一并带入气体吹洗系统，从而保证了厂房的清洁以及工作人员的安全。 　　使用喷射泵需要耗费大量的压缩空气，需要专门为喷射泵配置了一套压空系统，且喷射泵运行效率极低，铀浓缩工厂使用的喷射泵耗气量约为0.20kg/s，相当9.28Nm3/min，需要配套60kW的空气压缩机及相应的辅助设备。因此，吹洗操作耗能严重，且配套设备较多，维护费用较大[3]。 　　涡旋泵能直抽大气，选择合适抽速的涡旋泵，完全可以应用于气体吹洗系统。相对