半导体少子寿命测试仪的研究与改进-光学工程专业论文.docxVIP

上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 半导体少子寿命测试仪的研究与改进 摘 要 非平衡少数载流子寿命是半导体的一个十分关键的物理参数，在半 导体材料和器件中有着很重要的影响。它能反映半导体材料的纯度和晶 格结构的完整性，对太阳电池的效率都有着重要的影响，是工艺调整与 材料区分的主要依据。 论文第一章将会针对光伏行业的发展进行一些讨论，并提出硅片检 测的重要性并引出少子寿命的测试。第二章介绍了少子寿命的定并对影 响少子寿命的复合过程进行了深入讨论。接着开始介绍几种重要的少子 寿命测试方法，它们的原理与优缺点都进行了讨论和对比。最后引出本 文选用的微波光电导衰减法，并对它的优势进行了描述。 第三章解释了微波光电导衰减法的原理，详细展示了实验装置的搭 建过程，第四章针对少子寿命测试仪中存在的信号较弱导致的测试结果 重复性较低的问题，先对矩形波导中微波的传输特性进行了理论分析。 然后对测试仪中关键传输耦合模块魔 T 进行了研究。研究发现微波在魔 T 中的传播导致了大量能量的损失，严重削减了信噪比。环流器的特性 I 很好地弥补了魔 T 的不足，既保证了微波正常的传输耦合又提高了装置 中微波的能量利用率，保证了信噪比。用环流器替代魔 T 并进行改进后， 测试结果重复性由原来的 7%提升至 3% 。 文章最后对本文论述的方法进行了一个补充和讨论，并指出了本文 中方法的一些局限性和尚待更进一步研究的点。最后对少子寿命寿命测 试的发展提出一些看法。 关键字：少子寿命，微波光反射光电导衰减法，魔 T，环流器，重复性 II REASEARCHANDIMPROVEMENTOFMINORITYCARRIE RLIFETIMETESTOR ABSTRACT Among the physics parameters which can reflect the properties of semiconductor materials and devices, minority carrier lifetime plays a key role. The purity and lattice integrity of semiconductor materials can be mirrored by minority carrier lifetime, which has a great influence on the efficiency of solar cells. Adjustment and division of semiconductor materials in industry cannot go without the detection of minority carrier lifetime. The first chapter provides some discuss of solar business development, then emphasizes the importance of silicon wafer testing and leads to the testing of minority carrier lifetime at last. The second chapter introduces the definition of minority carrier lifetime, and does a deep analysis about the recombination process which has a great impact on the minority carrier lifetime. Then some popular methods of testing minority carrier lifetime III will be introduced, with their principle and shortcomings and advantages discussed and compared. Chapter three explains the principle of microwave photo-conductance decay method, and shows the process of building the tester setup. Minority carrier lifetime tester has a poor repeatability caused by low signal-noise ratio. In order to solve the problem，this paper anal